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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > 英和専門語辞典 > fine pattern lithographyの意味・解説 

fine pattern lithographyとは
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主な意味微細加工リソグラフィー

クロスランゲージ 37分野専門語辞書での「fine pattern lithography」の意味

fine pattern lithography



「fine pattern lithography」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 60



例文

LITHOGRAPHY MASK AND METHOD FOR MAKING FINE PATTERN例文帳に追加

リソグラフィーマスク及び微細パターンを作製する方法 - 特許庁

Paintings and drawings, engravings, lithography or clothes' pattern and other works of fine arts.例文帳に追加

絵画及び図、版画、リトグラフィー、生地の模様及び他の美術的作品 - 特許庁

To provide a manufacturing method for forming a fine pattern with a pitch not less than a lithography limit.例文帳に追加

リソグラフィー限界以上のピッチを有する微細パターンを形成する製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of lithography capable of forming a fine pattern and a device used therefor.例文帳に追加

微細パターンを形成することが可能なリソグラフィの方法及びそれに用いる装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for forming a fine pattern of a semiconductor device using an immersion lithography process.例文帳に追加

液浸露光工程を利用した半導体素子の微細パターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for removing a foreign substance of a lithography original, by which a foreign substance is removed even in a lithography original having a fine pattern formed thereon, and also to provide a method for manufacturing a lithography original by using the above method for removing a foreign substance.例文帳に追加

微細なパターンが形成されたリソグラフィ原版についても、異物を除去することができるリソグラフィ原版の異物除去方法及びこの異物除去方法を用いたリソグラフィ原版の製造方法を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a pattern forming method capable of forming a fine pattern by nano-imprint lithography.例文帳に追加

本発明は、ナノインプリントリソグラフィにおいて、微細なパターンを形成可能なパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

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「fine pattern lithography」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 60



例文

ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY METHOD, FINE PATTERN DRAWING SYSTEM, METHOD FOR MANUFACTURING PROTRUDING AND RECESSING PATTERN SUPPORT, AND MAGNETIC DISK MEDIUM例文帳に追加

電子ビーム描画方法、微細パターン描画システム、凹凸パターン担持体磁気ディスク媒体の製造方法 - 特許庁

To obtain a fine pattern having a proper profile, by preventing liquid used in immersion lithography from affecting a resist pattern.例文帳に追加

液浸リソグラフィに用いる液体によるレジスト膜への影響を防止して、良好な形状を有する微細化パターンを得られるようにする。 - 特許庁

When forming an objective fine pattern on a resist film using electron beam lithography, an auxiliary pattern, with due consideration to a pattern density, is formed simultaneously in the periphery of the objective fine pattern to suppress the change in the size of the fine pattern near the boundary thereof.例文帳に追加

目的とする微細パターンを、電子線リソグラフィーを用いてレジスト膜上に形成する際、目的とする微細パターン周辺に、パターン密度を考慮した補助パターンを同時に形成することにより、微細パターン境界近傍での寸法変化を抑制する。 - 特許庁

The method is used for forming an extremely fine pattern by using short wavelength light from an ArF excimer laser or by liquid immersion lithography.例文帳に追加

ArFエキシマーレーザーなどの短波長光や液浸リソグラフィーなどの非常に微細なパターンを形成する場合に用いられる。 - 特許庁

To form a fine pattern having a favorable profile by improving barrier property of a barrier film against a liquid in liquid immersion lithography.例文帳に追加

液浸リソグラフィにおいて、バリア膜の液体に対するバリア性を向上させて、良好な形状を有する微細パターン形成できるようにする。 - 特許庁

To provide a method capable of forming a fine pattern having a pitch beyond a lithography limit.例文帳に追加

リソグラフィ限界以上のピッチを有する微細パターンを形成することができる方法を提供する。 - 特許庁

To form a fine pattern exceeding the resolution limit of an exposure apparatus by using a lithography process without performing overlay exposure.例文帳に追加

重ね合わせ露光を行うことなくリソグラフィ・プロセスを用いて、露光装置の解像限界を超えるような微細パターンを形成する。 - 特許庁

例文

To form a fine pattern having a favorable profile while preventing decrease in solubility of a chemically amplified resist film in immersion lithography.例文帳に追加

液浸リソグラフィにおいて、化学増幅型レジスト膜の溶解性の低下を防止して、良好な形状を有する微細パターン形成できるようにする。 - 特許庁

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「fine pattern lithography」の意味に関連した用語


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