furnace purgeとは 意味・読み方・使い方

To provide a continuous firing furnace capable of reducing temperature dispersion of workpieces conveyed multiply stacked in a purge zone of an inlet side, and preventing dripping from an upper wall face of the purge zone due to dew formation of degassed gas from the workpieces.例文帳に追加

多段積みして搬送されるワークの温度のバラツキを入口側のパージゾーンで減少させることができ、ワークからの脱ガスが結露してパージゾーンの上壁面から滴下することもない連続焼成炉を提供する。 - 特許庁

The bake device 1 controls the temperature and channel of the purge gas in order to increase the temperature distribution of the purge gas in the bake furnace 11 outside the diameter direction of the wafer 10, and to decrease it inside the diameter direction of the wafer 10.例文帳に追加

ベーク装置１は、ベーク炉１１内におけるパージガスの温度分布がウェハ１０の径方向外側で高く径方向内側で低くなるようにパージガスの温度及び流路を制御する。 - 特許庁

The heating furnace 1 also includes a purge gas introducing pipe 12 for passing an inert gas through a housing space S surrounded by the partition wall 4 and the core tube 2.例文帳に追加

また、隔壁４と炉心管２で囲まれる収納空間Ｓに不活性ガスを流す、パージガス導入管１２を有する。 - 特許庁

This method for charging the plastics or the compacts including plastics into the furnace 2 through the chute 9, comprises blowing gas for purge into the chute.例文帳に追加

シュート９を介してプラスチック又は含プラスチック成形体を炉２内に投入する際に、シュート内にパージ用ガスを吹き込む。 - 特許庁

A front vacuum purge chamber 11 and a carry-in chamber 12 are arranged at the upstream side of a furnace chamber 2 of a continuous carburizing quenching furnace 1, doors 15 and 16 are arranged at the inlet and outlet of the front vacuum purge chamber 11, and at the same time a door 19 is arranged at the outlet of the carry-in chamber 12.例文帳に追加

連続式浸炭焼入炉１の炉室２の上流側に前部真空パージ室１１および搬入室１２を配置し、前部真空パージ室１１の入口および出口にそれぞれ扉１５，１６を設けるとともに搬入室１２の出口に扉１９を設ける。 - 特許庁

During starting or a stop of operation of the kiln furnace 1, the combustion gas 12 is fed in the kiln furnace 1 from the combustion gas discharge line 14 through the purge line 23 to effect prepurge.例文帳に追加

キルン炉１の運転開始時又は停止時に、燃焼ガス１２を、燃焼ガス排出ライン１４からパージライン２３を経由させてキルン炉１内に供給し、プレパージさせる。 - 特許庁

It is also provided at the furnace inlet flange 4 adjacent to the gas supply tube 7 for supplying purge gas, forming a plasma generating area 26 in the furnace inlet flange.例文帳に追加

このプラズマ生成手段３２は、パージガスを供給するガス供給管７の近傍の炉口フランジ４に設け、炉口フランジ内にプラズマ生成領域２６を形成する。 - 特許庁

The NH_3 gas is supplied to effect purge in the reaction furnace 1 under a state that the wafer 10 is not accommodated after the cleaning under a condition that the pressure in the furnace is higher than that in the film forming process.例文帳に追加

クリーニング後にウェーハ１０が収容されていない状態の反応炉１内に、炉内圧力を成膜工程における炉内圧力よりも高くした状態でＮＨ_３ガスを供給して反応炉１内のパージを行う。 - 特許庁