heavy electron systemとは 意味・読み方・使い方

To provide an electron bean lighting optical system which is capable of generating a heavy current and using it efficiently at the same time.例文帳に追加

効率よく大電流を発生することができ、かつ、それを効率よく使用することができる電子線照明光学系を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam irradiation device and its method capable of inexpensive and high-throughput irradiation of a heavy current to a large irradiation area, and to provide an inexpensive and high-throughput electron beam lithography system and its method having a maintenance-free system and reduced running cost, and capable of high-resolution drawing compared with hitherto.例文帳に追加

大きな照射領域に大電流の照射を、低コストで、かつ、高スループットである電子線照射装置とその方法を提供すること、および、低コストで高スループットであると共に、メンテナンスフリーでランニングコストを低下させ、かつ、従来に比べて高解像度の描画を可能にする電子線描画装置とその方法を提供すること。 - 特許庁