high speed electron beamとは 意味・読み方・使い方

To enhance writing accuracy by performing a dynamic focal point correction of an electron beam at high speed.例文帳に追加

電子ビームの動的焦点補正を高速で行うことができ、描画精度の向上をはかる。 - 特許庁

To provide an electron beam exposure system capable of processing exposure at a high speed.例文帳に追加

高速に露光処理を行うことができる電子ビーム露光装置を提供する - 特許庁

HIGH-SPEED PROCESSING METHOD USING ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY AND OPTICAL CIRCUIT MANUFACTURED THEREBY例文帳に追加

電子線描画を利用したパターンの高速加工方法及びそれを用いて作製した光回路 - 特許庁

To provide an image display device using an electron beam, having excellent operability and allowing high-speed image display.例文帳に追加

高速な画像表示を可能とし、操作性に優れた電子ビームによる画像表示装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electron beam drawing apparatus which can draw at a high speed with a high accuracy by reducing the influence of a coulomb effect in a multiple beam system.例文帳に追加

マルチビーム方式におけるクーロン効果の影響を低減し、高速・高精度な描画を可能にする電子ビーム描画装置を提供する。 - 特許庁

To realize a high precision electron beam exposure by providing a high resolution beam size correcting method at a high speed and low cost in a variable molding type electron-beam graphics drawing apparatus.例文帳に追加

本発明の課題は可変成形型電子ビーム描画装置における高分解能ビーム寸法補正方法を高速かつ低コストで提供し、高精度の電子ビーム露光を実現することである。 - 特許庁

To provide an electron beam aligner for correcting the proximity effect in the exposure of electron beams with accuracy and at high speed.例文帳に追加

電子ビーム露光における近接効果の補正を精度良くかつ高速に行う電子ビーム露光装置を提供すること。 - 特許庁

When a dot is not to be formed in the cell, the electron beam is deflected at a high speed so as to move the incident position of the electron beam at a high speed with respect to the substrate.例文帳に追加

また、セル内にドットを形成しない場合には、電子線を高速に偏向して、電子線の入射位置を基板に対して高速に移動させる。 - 特許庁