multilayer depositionとは 意味・読み方・使い方

THIN FILM DEPOSITION METHOD BY PLASMA CVD PROCESS AND ANTIREFLECTION MULTILAYER BODY例文帳に追加

プラズマＣＶＤ法による薄膜形成方法及び反射防止積層体 - 特許庁

To provide a vapor deposition method for collectively forming multilayer films.例文帳に追加

多層膜を一括で形成可能な蒸着方法を提供する。 - 特許庁

To provide a multilayer article and a making method by arc plasma deposition.例文帳に追加

多層物品及びアークプラズマ堆積による製造方法を提供する。 - 特許庁

MULTILAYER DIELECTRIC FILM FOR THIN FILM CAPACITOR AND ITS DEPOSITION PROCESS例文帳に追加

薄膜コンデンサ用誘電体積層フィルムおよびその製法 - 特許庁

To provide a method for producing an optical multilayer membrane by an atomic layer deposition method by which an optical multilayer film of high quality having desired optical properties which can not be designed in the conventional optical multilayer membrane can be deposited on a substrate with a large area using a membrane deposition system more inexpensive than the conventional membrane deposition system for an optical multilayer membrane.例文帳に追加

従来の光学多層膜の成膜装置に比べて安価な成膜装置で従来の光学多層膜では設計できない所望の光学特性を有する高品質の光学多層膜を大面積の基板に成膜できる原子層堆積法による光学多層膜の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a multilayer film reflection mirror having the desired multilayer film period length, and its manufacturing apparatus (a film deposition apparatus).例文帳に追加

所望の多層膜周期長を有する多層膜反射鏡、その製造装置（成膜装置）等を提供すること。 - 特許庁

The multilayer films 3, 4, 6, 7 are deposited with vacuum deposition, ion plating, ion assisted deposition and sputtering method.例文帳に追加

前記多層膜３，４，６，７は、真空蒸着、イオンプレーティング、イオンアシスト蒸着、スパッタリング法で成膜される。 - 特許庁

To provide a film deposition system and a film deposition method which achieve more precise control of film thickness when a multilayer film is formed on a substrate.例文帳に追加

基材上に多層膜を形成する際に、より高精度な膜厚制御が可能な成膜装置および成膜方法を提供する。 - 特許庁