nanoimprintingとは 意味・読み方・使い方

The nanoimprinting apparatus includes an ultraviolet light diffuser 135 for randomizing a parallelized ultraviolet beam 137.例文帳に追加

ナノインプリンティング装置は、平行化紫外線ビーム１３７をランダム化する紫外線光拡散装置１３５を含む。 - 特許庁

The hardening composition for optical nanoimprinting includes at least one type of (meta) acrylate compound and an antioxidant.例文帳に追加

（メタ）アクリレート化合物を少なくとも１種と、酸化防止剤とを含む、光ナノインプリント用硬化性組成物。 - 特許庁

The nanoimprinting curable composition contains at least 87 mass% of a monofunctional polymerizable compound and a photopolymerization initiator.例文帳に追加

１官能重合性化合物８７質量％以上と、光重合開始剤とを含むナノインプリント用硬化性組成物。 - 特許庁

A mask 31 is formed on a semiconductor region 13, by using an electron beam exposure method or a nanoimprinting method.例文帳に追加

電子ビーム露光法又はナノインプリンティング法を用いてマスク３１を半導体領域１３上に形成する。 - 特許庁

To provide a mold for nanoimprinting improved in distribution in the substrate surface of an etching depth and reproducibility, and a method for producing the mold.例文帳に追加

エッチング深さの基板面内分布および再現性を改善したナノインプリント用金型及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

A nonreflecting structure can be formed on the surface of a glass material by nanoimprinting on the glass material using the substrate as a mold.例文帳に追加

この基板をモールドとしてガラス材にナノインプリントを行うことにより、そのガラス材表面に無反射構造を形成することができる。 - 特許庁

In a stage S107, a first mask is formed on a semiconductor region by a nanoimprinting method using the mold.例文帳に追加

モールドを用いてナノインプリンティング法で半導体領域上に第１のマスクを工程Ｓ１０７で形成する。 - 特許庁

To provide a hardening composition for nanoimprinting lithography, having a low viscosity and a high transcription pattern accuracy, and excellent in a mechanical strength.例文帳に追加

低粘度で高い転写パターン精度を有しつつ、機械的強度に優れたナノインプリントリソグラフィ用硬化性組成物を提供する。 - 特許庁