organohalideとは 意味・読み方・使い方

ORGANOHALIDE DECOMPOSITION TREATMENT SYSTEM例文帳に追加

有機ハロゲン化物分解処理システム - 特許庁

To provide a method and apparatus for detoxifying an organohalide gas and a system, and method for manufacturing semiconductor device capable of decomposing and detoxifying the organohalide gas, while reducing instant maximum density of the organohalide gas exhausted from the manufacturing device for semiconductors.例文帳に追加

半導体製造装置から排気される有機ハロゲン化合物ガスの瞬間最大濃度を下げながら有機ハロゲン化合物ガスを分解して除害する有機ハロゲン化合物の除害方法、有機ハロゲン化合物ガスの除害装置、半導体装置の製造システム及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR DETOXIFYING ORGANOHALIDE GAS AND SYSTEM AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

有機ハロゲン化合物ガスの除害方法、有機ハロゲン化合物ガスの除害装置、半導体装置の製造システム及び半導体装置の製造方法 - 特許庁

To provide an exhaust gas treatment method for treating a gas containing an aromatic compound of an organohalide, and an apparatus therefor.例文帳に追加

有機ハロゲン化物の芳香族系化合物を含むガスを処理する排ガス処理方法及び装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

An organohalide gas 20 is exhausted from a manufacturing device 8 through an adsorbing part 6 including an adsorbent 60 to a decomposition device for organohalides 4, and decomposes the organohalide gas 20 in the decomposition device for organohalides 4.例文帳に追加

本発明は、製造装置８から排気される有機ハロゲン化合物ガス２０を、吸着材６０を含む吸着部６を通して、有機ハロゲン化合物分解装置４に導入し、有機ハロゲン化合物分解装置４において、有機ハロゲン化合物ガス２０を分解するものである。 - 特許庁

Organohalide such as dioxins or the like is efficiently decomposed and removed by applying microwave irradiation treatment to solid waste in the presence of a hydrogen donor and an adsorbent to detoxify the solid waste.例文帳に追加

また従来の方法ではダイオキシン類から塩素と芳香族化合物の段階までしか分解されていないものが存在することがあり、分解生成物である塩素と芳香族化合物が加熱条件下で結合してダイオキシン類が再度生成してくる虞れがあった。 - 特許庁