photo illuminationとは 意味・読み方・使い方

The focus monitor method uses modified illumination to transfer the pattern of a photo mask 5 for phase shift focus monitor to a photo resist 21b on a semiconductor substrate 21a.例文帳に追加

本発明のフォーカスモニタ方法は、位相シフトフォーカスモニタ用フォトマスク５のパターンを、変形照明を用いて半導体基板２１ａ上のフォトレジスト２１ｂに転写することを特徴とする。 - 特許庁

In this manufacturing method, when a group of resist patterns are formed, a first photo mask 1 composed of a phase shift mask is used for exposure by circular illumination, and a second photo mask 6 composed of a chrome mask is used for exposing by oblique incidence deformation illumination, thus allowing accurate transfer in both the patterns to be transferred by the first and second photo masks 1 and 6.例文帳に追加

一群のレジストパターンを形成する際、まず、位相シフトマスクで構成される第１のフォトマスク１を用いて円形照明により露光し、次いでクロムマスクで構成される第２のフォトマスク６を用いて斜入射変形照明により露光することにより、第１のフォトマスク１で転写されるパターンおよび第２のフォトマスク６で転写されるパターンの両者において高精度な転写が可能となる。 - 特許庁

To provide a lighting system to make illumination by guiding the light emitted by a light source part through a photo-guide rod, capable of giving a high illuminating efficiency and easily accomplishing illumination with the desired hue (spectral characteristic).例文帳に追加

光源部で発光した光を導光ロッドで導光して照明を行う照明装置であって、照明効率が高く、かつ所望の色調（分光特性）での照明を容易に実現することを可能とする。 - 特許庁

To provide an illumination optical apparatus, capable of correctly monitoring luminous quantities at a surface to be irradiated without having to strictly adjust the positions of an illumination optical system and a photo-detector.例文帳に追加

照明光学系と光検出器との厳密な位置調整を行わなくても被照射面における光量を正しく監視できる照明光学装置を提供する。 - 特許庁

In a state that an infrared signal S0 from a remote control device 8 is not photo-detected by the photo-detector 46, when infrared rays included in the illumination light of an inverter illuminator are photo-detected by the photo-detector 46, a pulse signal is generated at an output terminal of the conversion section 48 in accordance with the infrared rays.例文帳に追加

リモートコントロール装置８からの赤外線信号Ｓ０が受光素子４６に受光されていない状態において、受光素子４６にインバーター照明機器の照明光に含まれる赤外線が受光されると、その赤外線に対応して変換部４８の出力端子にパルス信号が発生する。 - 特許庁

To provide a film reading technology capable of stably interpreting codes even when a film reading apparatus is provided with an illumination optical system, which provides an ununiform luminous quantity distribution less than that applied to a photographing image area of a photo film to a code area of the photo film.例文帳に追加

写真フィルムのコードエリアに対しては写真フィルムの撮影画像エリアに比べてより低下した不均等な光量分布を与えるような照明光学系を装備していても、安定したコードの解読が可能となるフィルム読取技術を提供する。 - 特許庁

The photo-sensor 31 detects light passed through the translucent substrate 21 and the translucent image in the light emitted by the illumination means and converts the light into an electric signal, and the moving means 32 moves the photo-sensor 31 along the translucent image.例文帳に追加

光センサ３１が、前記照明手段が発した光のうち透光性基板２１および前記透光性画像を通過した光を検知して電気信号に変換し、移動手段３２が光センサ３１を前記透光性画像に沿って移動させる。 - 特許庁

Further, the light irradiation unit 12 more uniformly irradiates the light to the inside of the transparent photo-curing material with irradiation illumination distributions of the unit 12 differed by making different a focal distance of a lens at the tip.例文帳に追加

さらに、光照射ユニット１２が、先端のレンズの焦点距離を異ならせることにより、光照射ユニット１２の放射照度分布を異ならせて透明光硬化材の内部に対してより均等に光照射するようになっている。 - 特許庁