plasma bicarbonateとは 意味・読み方・使い方

The unnecessary film adhered to the shower plate installed in the film making device such as a plasma CVD device or the like is removed by blasting using a synthetic resin which is harder than a film material and not harder than a shower plate material, calcium carbonate, sodium bicarbonate, calcium chloride, or slaked lime or a mixture of them.例文帳に追加

プラズマＣＶＤ装置等の成膜装置に設けたシャワー板に付着した不要な膜を、該膜物質よりも硬質で、シャワー板素材よりも硬くないブラストメディアとして合成樹脂、炭酸カルシウム、重曹、塩化カルシウム若しくは消石灰、又はそれらの混合物を用いてブラスト処理して除去する。 - 特許庁