room-temperature substrateとは 意味・読み方・使い方

When the substrate is cooled to room temperature after the sputtering, the whole substrate is warped to be recessed upward.例文帳に追加

スパッタ後に室温まで冷却すると、基板全体が上方に凹になるように反る。 - 特許庁

At a substrate temperature lower than a room temperature, the ozone gas is supplied to the substrate to form an ozone molecule film on the Ge substrate 2.例文帳に追加

室温よりも低温の基板温度のもとで前記基板に前記オゾンガスを供給してＧｅ基板２上にオゾン分子層を形成させる。 - 特許庁

The frame 56 is joined to the mounting substrate 52 as direct junction by using room-temperature junction.例文帳に追加

枠５６は、直接接合として常温接合を用いて実装基板５２に接合される。 - 特許庁

To remove resist in a substrate without worrying about deformation because of thermal expansion near room temperature.例文帳に追加

室温付近で熱膨張による変形を気にすることなく基板のレジストを除去する。 - 特許庁

To provide a substrate treatment apparatus that can favorably clean the inside of a treatment room even though a temperature is varied depending on a position in the room.例文帳に追加

位置により温度差があっても処理室内を良好にクリーニングすることができる基板処理装置を提供する。 - 特許庁

The high-temperature water 2 at the temperature higher than room temperatures is supplied to the substrate W that is held and rotated by the substrate holding/rotating mechanism 1 and having the temperature lower than the high-temperature chemical solution, and successively the high-temperature chemical solution 3 at the temperature higher than room temperatures is supplied to it.例文帳に追加

基板保持回転機構１によって保持されて回転されており、高温薬液よりも低温の基板Ｗに、室温よりも高温の高温水２が供給され、それに引き続いて室温よりも高温の高温薬液３が供給される。 - 特許庁

Temperature is managed for the disk substrate, the UV curable resin and room temperature, to stabilize the formed film thickness.例文帳に追加

このようにディスク基板、紫外線硬化性樹脂、室温について温度管理を行うことで、形成される膜厚を安定させる。 - 特許庁

The temperature adjustment section TC is so controlled by a main control unit 4 that the temperature of the substrate W is adjusted by the temperature adjustment section TC to a target substrate temperature T2 which is different from the substrate temperature T1 after ashing and higher than room temperature.例文帳に追加

この温度調整部ＴＣにより基板Ｗの温度がアッシング後基板温度Ｔ１と異なりかつ常温よりも高い目標基板温度Ｔ２に調整されるように、温度調整部ＴＣがメイン制御部４により制御される。 - 特許庁