secondary beamとは 意味・読み方・使い方

METHOD OF OBSERVING SECONDARY CHARGED PARTICLE IMAGE ON FOCUSED ION BEAM APPARATUS例文帳に追加

集束イオンビーム装置による二次荷電粒子像の観察方法 - 特許庁

Thus, a secondary electron emission coefficient can be made small, and a beam deflection amount can be reduced.例文帳に追加

２次電子放出係数を小さくでき、ビーム偏向量を低減できる。 - 特許庁

METHOD FOR EVALUATING SECONDARY PARTICLE DETECTOR SYSTEM AND PARTICLE BEAM DEVICE例文帳に追加

二次粒子検出器系の評価方法および粒子線装置 - 特許庁

Similarly, calibration is executed by adjusting a position where a secondary beam detector 121 is irradiated with a plurality of secondary beams by using the output of the secondary beam detector 121.例文帳に追加

同様に、複数の二次ビームが二次ビーム検出器121に照射される位置を、二次ビーム検出器121の出力を用いて調整して、キャリブレーションを行う。 - 特許庁

To raise contrast level of the FIB image by increasing the secondary electron collection efficiency of the secondary electron detection system in the focusing ion beam device(FIB).例文帳に追加

集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）における二次電子検出系の二次電子収集効率を高めてＦＩＢ画像のコントラストレベルを上げる。 - 特許庁

To efficiently detect secondary electrons without making a condensing lens for making the secondary electrons incident on a detector necessary in a multi-beam device.例文帳に追加

マルチビーム装置で二次電子を検出器に入射させるためのコンデンサレンズを必要とせず、二次電子を効率よく検出するようにする。 - 特許庁

To provide an electron beam device equipped with a secondary optical system in which the cross talk between the secondary electrons is not generated even if the number of electron beams is increased.例文帳に追加

電子ビームの数を増加しても二次電子間のクロストークが生じないような二次光学系を備えた電子線装置を提供する。 - 特許庁

A detector is included which can detect the secondary electrons mutually and independently generated from the test piece surface by each multiple beam in the secondary optical system.例文帳に追加

前記マルチビームの各々により試料面から発生する二次電子を二次光学系において互いに独立に検出できる検出器を含む。 - 特許庁