sog-8とは 意味・読み方・使い方

After filling SOG 8 in the plurality of trenches, the SOG 8 is solidified.例文帳に追加

複数のトレンチ内にＳＯＧを充填した後、ＳＯＧを固化する。 - 特許庁

On the SiOC film 7, an SOG layer 8 is formed.例文帳に追加

ＳｉＯＣ膜７上には、ＳＯＧ層８が形成されている。 - 特許庁

When SOG 8 is applied on the oxide film 7 by using centrifugal force, remaining SOG 8 collects in the recess part 7X, and SOG 8 is applied on the oxide film 7 on the fuse wiring 3 in uniform thickness.例文帳に追加

酸化膜７上に遠心力を利用してＳＯＧ８を塗布すると、余剰分のＳＯＧ８が凹部７Ｘに溜まり、ヒューズ配線３上の酸化膜７に均一な厚さでＳＯＧ８が塗布される。 - 特許庁

After metal wirings 6 are buried in a modified SOG film 4 using a damascene method, a modified SOG film 8 is formed on the film 4 and moreover, contact holes are formed in the film 8.例文帳に追加

そして、改質ＳＯＧ膜４にダマシン法を用いて金属配線６を埋め込んだ後、その上に改質ＳＯＧ膜８を形成し、更に、コンタクトホール９ａ，９ｂを形成する。 - 特許庁

Since the SOG films are not formed on the top face of the wiring 2 to which holes 8 are formed, and on the surface of the substrate 1, the SOG films are not exposed to the inner walls of the holes 8.例文帳に追加

また、ホール８の形成される配線２上面や基板１表面にＳＯＧ膜が形成されないのでホール８の内壁にＳＯＧ膜が露出しない。 - 特許庁

The lower wiring 4 and the conductive plug 6 are buried by an organic SOG film 7, after that, the surface of the conductive plug 6 is exposed, and second wiring 8 is formed on the organic SOG film 7.例文帳に追加

下層配線４及び導電プラグ６を有機ＳＯＧ膜７で埋め込み、その後、導電プラグ６表面を露出させ、有機ＳＯＧ膜７上に第２配線８を形成する。 - 特許庁

Furthermore, a thermally polymerized hydrocarbon film 7 is formed on the modified SOG film mask 5, and a trench 8 communicating with the contact hole 6 is cut in the hydrocarbon film 7.例文帳に追加

更に、改質ＳＯＧマスク５の上に熱重合性炭化水素膜７が形成され、この炭化水素膜７には、コンタクトホール６に通じるトレンチ８が形成されている。 - 特許庁