super pure waterとは 意味・読み方・使い方

The ultra pure water heating equipment 32 heats the super pure water at a room temperature up to 60°C by heat exchange with the cooling water at 80°C.例文帳に追加

超純水加熱装置３２は、室温の超純水を８０℃の冷却水との熱交換により６０℃に加熱する。 - 特許庁

The fluid includes super pure water for use as an immersion liquid for the lithographic system.例文帳に追加

流体は、有利には、リソグラフィ装置に浸漬液として使用するための超純水を含む。 - 特許庁

To provide a multilayer tube for super pure water piping capable of suppressing permeation of gas from the outside of the multilayer tube and suppressing multilayer tube constituent or the like from eluting to the super pure water circulating in the multilayer tube.例文帳に追加

多層管外部からのガスの透過を抑制するとともに、多層管内を流通する超純水に多層管構成成分等が溶出するのを抑制することのできる超純水配管用の多層管を提供する。 - 特許庁

The multilayer tube for super pure water piping is made of fluorine resin, and comprises: a first resin layer contacting the super pure water; and a second resin layer made of a gas impermeable resin and provided on the outer peripheral surface of the first resin layer.例文帳に追加

超純水の配管用の多層管は、フッ素樹脂からなり、超純水に接触する第１の樹脂層と、ガス不透過性樹脂からなり、前記第１の樹脂層の外周面に設けられた第２の樹脂層とを備える。 - 特許庁

The pure water apparatus utilizing an electrode structure of an electrochemical capacitor, especially a super capacitor is provided in order to remove ions from solution.例文帳に追加

溶液のイオン除去に、電気化学的キャパシター、特にスーパーキャパシターの電極構造を利用した純水装置を考案する。 - 特許庁

This suppresses permeation of the gas from the outside and also suppress the multilayer tube constituent or the like from eluting to the super pure water circulating in the multilayer tube.例文帳に追加

これにより、外部からのガスの透過を抑制することができるとともに、多層管内を流通する超純水に多層管構成成分等が溶出するのを抑制することができる。 - 特許庁

To provide a device for evaluating a washing and an etching performance of a liquid, such as super-pure water and a washing chemical, in contact with a silicon wafer, with respect to the silicon wafer, easily in a short period of time.例文帳に追加

特にシリコンウエハに接する液体、例えば超純水、洗浄薬液などのシリコンウエハに対する洗浄性やエッチング性などを、短時間にかつ簡便に評価するための装置を提供する。 - 特許庁