super-critical flowとは 意味・読み方・使い方

To provide a processing method of substrate in which processing capacity of substrate can be enhanced even when super-critical carbon dioxide is used as a medium and the flow rate is high by mixing the super-critical carbon dioxide and a chemical uniformly.例文帳に追加

超臨界二酸化炭素を媒体として使用し、流量が大きい場合においても、超臨界二酸化炭素と薬液とを均一に混合して、基板の処理能力を向上させることができる基板の処理方法を提供する。 - 特許庁

The super critical water reaction device 40 has the same structure of flow out lines of a reactor and after the reactor as the conventional supercritical water reaction device except the use of a three fluid nozzle in place of a two fluid nozzle and the change in accordance with the use of the three fluid nozzle.例文帳に追加

本超臨界水反応装置４０は、二流体ノズルに代えて三流体ノズルを使用すること、三流体ノズルの使用に伴う変更を除いて、反応器及び反応器以降の流出系統の構成は、従来の超臨界水反応装置と同じ構成である。 - 特許庁