supersonic free jetとは 意味・読み方・使い方

Supersonic free jet of sample component molecules jetted out from a gas blowout hole 3 is contacted with the emitter 4, and ions generated on the surface are collected by a collector 5.例文帳に追加

ガス噴出孔３から噴出された試料成分分子の超音速自由噴流はエミッタ４に接触し、その表面で発生したイオンはコレクタ５に捕集される。 - 特許庁

The Ti-Al-N film contains titanium, aluminum and nitrogen, and is deposited on a substrate in such a way that particulates composed of nitrogen, titanium and/or aluminum produced in plasma are jetted into a vacuum chamber 30 from a supersonic nozzle 34 in a state of being carried on the gas flow of an supersonic free jet, and are physically vapor-deposited on a substrate 33 arranged in the vacuum chamber 30.例文帳に追加

チタン、アルミニウムおよび窒素を含有して、基板に形成されたＴｉ−Ａｌ−Ｎ膜であって、プラズマ中で生成された窒素とチタンおよび／またはアルミニウムからなる微粒子を超音速ノズル３４から超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー３０中に噴出して、真空チャンバー３０中に配置した基板３３上に物理蒸着させて形成した膜とする。 - 特許庁

With this, Mach Disk and a barrel shock due to supersonic free jet are prevented and a strong ion flow toward a downstream is generated near an ion optical axis C, and the ion can be efficiently arrested in an ion guide which converges the ion by a high-frequency electric field and transports it, thereby enhancing ion transmission efficiency.例文帳に追加

これにより、超音速自由噴流によるマッハディスクやバレルショックが抑制され、イオン光軸Ｃ付近に下流へ向かう強いイオン流が生じ、高周波電場によりイオンを収束させつつ輸送するイオンガイドにイオンが効率良く捕捉され、イオン通過効率が向上する。 - 特許庁

Silicon particulates are produced by heating a silicon evaporation source 15, transported, and jetted into a vacuum chamber 30 while carried with an air current of a supersonic free jet J to be physically vapor-deposited on a substrate 33 arranged in the vacuum chamber 30, thereby forming the polycrystalline silicon film of the silicon particulates.例文帳に追加

シリコン蒸発源１５の加熱によりシリコン微粒子を生成し、次に、シリコン微粒子を移送し、超音速フリージェットＪの気流に乗せて真空チャンバー３０中に噴出して、真空チャンバー３０中に配置された基板３３上に物理蒸着させ、シリコン微粒子からなる多結晶シリコン膜を形成する。 - 特許庁