thermal‐chemical processの英語

VAPOR DEPOSITION METHOD FOR PERPENDICULARLY ORIENTING CARBON NANOTUBE UTILIZING LOW-PRESSURE-DC-THERMAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS例文帳に追加

低圧−ＤＣ−熱化学蒸着法を利用したカーボンナノチューブ垂直配向蒸着方法 - 特許庁

To provide a method for perpendicularly orienting a pure carbon nanotube through a low-temperature-thermal chemical vapor deposition process on a large-area substrate consisting of glass or silicon at a low temperature.例文帳に追加

低温でガラスやシリコンよりなる大面積の基板上に低温-ＤＣ-熱化学蒸着方法を通じて純粋なカーボンナノチューブを垂直配向する方法を提供する。 - 特許庁

First group-III and nitrogen precursors are flowed into a first processing chamber to deposit a first layer over a substrate with a thermal chemical-vapor-deposition process.例文帳に追加

III族及び窒素の前駆物質が、第１の処理チャンバに流入されて、熱化学気相堆積プロセスを用いて、基板上に第１の層が堆積される。 - 特許庁

Second group-III and nitrogen precursors are flowed into the second processing chamber to deposit a second layer over the first layer with a thermal chemical-vapor-deposition process.例文帳に追加

II族及び窒素の前駆物質が、該第２の処理チャンバに流入されて、熱化学気相堆積プロセスを用いて該第１の層を覆って第２の層が堆積される。 - 特許庁