thermal electronsとは 意味・読み方・使い方

To provide a substrate heating apparatus improving a temperature distribution when a substrate is heated by equalizing the discharge of thermal electrons onto a substrate surface to be heated.例文帳に追加

加熱される基板面上への熱電子の放出が均一になるようにして、基板の加熱時の温度分布を改善すること。 - 特許庁

To prevent a problem that, while thermal electrons within the range irradiated with ion beam are attracted by Ar+ ions to hit a screen (shutter), thermal electrons produced at the part of uncovered filament terminal portion reach a substrate with creeping phenomenon like reflection to lower the electri cal potential of the substrate.例文帳に追加

イオンビームの照射範囲内の熱電子はＡｒ＋イオンに引き寄せられ、遮蔽板（シャッタ）に当たることになるが、むき出しとなっているフィラメント端子部分で発生した熱電子は、反射等の回り込みなどの現象により基板まで到達し、基板の持つ電位が低下する。 - 特許庁

A main cathode member 20 generating thermal electrons and an anode plate 8 receiving the thermal electrons from the main cathode member 20 are mounted in a sealed container 2, in which deuterium gas is enclosed, and a discharge path of arc discharge for light emission is foamed between the main cathode member 20 and the anode plate 8.例文帳に追加

重水素ガスが封入された密封容器２内に、熱電子を発生させる主陰極部２０、及び主陰極部２０からの熱電子を受容する陽極板８を設け、主陰極部２０と陽極板８との間で、発光のためのアーク放電の放電路を形成する。 - 特許庁

An electron gun 20 includes an electron source 4 which emits electrons, an anode 6 such that an acceleration voltage is applied between the anode and the electron source 4, a Wehnelt part 5 which is arranged between the electron source 4 and the anode 6 and converges the electrons emitted by the electron source 4, and an electron discharge part 12 which discharges thermal electrons toward the Wehnelt part 5.例文帳に追加

電子銃２０は、電子を放出する電子源４と、電子源４との間で加速電圧が印加されるアノード６と、電子源４とアノード６との間に配置され、電子源４から放出された電子を収束させるウェネルト５と、ウェネルト５に向けて熱電子を放出する電子放出部１２とを有する。 - 特許庁

Since the carbon nano-tube has very higher electrical conductivity, it radiates high density thermal electrons when the power is fed and generates active seeds through activation of ammonium.例文帳に追加

カーボンナノチューブは電気伝導性が非常に高いことから、通電することにより高密度の熱電子を放出し、アンモニアを活性化させて活性種を生成する。 - 特許庁

The thermal oxide film thus obtained is used as the gate insulating film to prevent deterioration by the injection of hot electrons, or the like and to improve element reliability.例文帳に追加

このようにして得られた熱酸化膜をゲイト絶縁膜として用いることによってホットエレクトロン等の注入による劣化を防止し、素子の信頼性を高める。 - 特許庁

Electrons or ions are accelerated by together using a DC electrode and the AC electrode to be driven in cells to be sterilized and radicals are driven in cells or the surfaces of cells in a thermal motive manner regardless of the positive and negative of an electrode.例文帳に追加

直流電極と交流電極の併用により、電子又はイオンは、加速されて殺菌処理対象の細胞に打ち込まれ、ラジカルは電極の正負に係わらず熱運動的に細胞又は細胞の表層に打ち込まれる。 - 特許庁

To provide a thermoelectron generating source of indirect heating method, in which space charge limitation can be moderated when thermoelectrons are extracted, and the thermal electrons with low energy can be generated in a large amount.例文帳に追加

傍熱方式のものであって、熱電子引き出しの際の空間電荷制限を緩和して、低エネルギーの熱電子を大量に発生させることができる熱電子発生源を提供する。 - 特許庁