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vuv spectrometerとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 真空紫外分光計
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In one embodiment, the sensor comprises an ion energy analyzer 400, a VUV (vacuum ultraviolet) photon detector 500, and a radical-ion species type optical emission spectrometer 600.例文帳に追加
基板上に、センサとして、イオン・エネルギー・アナラザ４００，ＶＵＶフォトン検出器５００，ラジカル・イオン種発光分光装置６００を備えた例である。 - 特許庁
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1
真空紫外分光計
JST科学技術用語日英対訳辞書
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