ws mとは 意味・読み方・使い方

After the exposed substrate WS is moved stepwise, the positional shift between the exposed substrate WS, and the exposure pattern of the mask M is measured by an exposure pattern positional shift detecting means 46.例文帳に追加

そして、露光済み基板ＷＳをステップ移動させた後、露光済みの基板ＷＳとマスクＭの露光パターンの位置ずれ量を露光パターン位置ずれ検出手段４６で計測する。 - 特許庁

This exposing apparatus EX includes: a measuring system M for performing measurement for controlling exposure via a first mark Rm positioned in an original plate stage RS and a second mark wm positioned in a substrate stage WS; and a control part CNT capable of setting a lightening condition different from a lightning condition under measurement by a measuring system M for exposing a substrate to a light.例文帳に追加

露光装置ＥＸは、露光の制御のための計測を原版ステージＲＳに配置された第１マークＲｍと基板ステージＷＳに配置された第２マークｗｍとを使って行なう計測システムＭと、ある照明条件で基板の露光を行なうために計測システムＭによって計測が行なわれる際に当該照明条件とは異なる照明条件を設定可能な制御部ＣＮＴとを備える。 - 特許庁

Accordingly, even the conventional or general-purpose personal computers 61,..., 6n or 6x each generally having an only low-capacity memory and only a low-speed CPU compared to the display device 3D/WS 5 can display the three-dimensional image and allows its observation when installing the recording medium M in recording/reading devices 61a,..., 6na or 6xa.例文帳に追加

したがって、上記３Ｄ・ＷＳ５に比べて一般に低速のＣＰＵ及び低容量のメモリしか有さない通常ないし汎用のパソコン６１、…、６ｎ又は６ｘにおいても、その記録・読出装置６１ａ、…、６ｎａ又は６ｘａに、前記記録媒体Ｍを装着することによれば、三次元画像の表示ないし観察を実施することができる。 - 特許庁

The servo signal-testing device M is equipped with a magnetic tape drive unit 1 which runs a magnetic tape MT, a servo head SH which detects a servo signal S recorded on the magnetic tape MT, and a control unit 3 which controls this servo head SH to vibrate in the direction of a tape width within the limits of a face width Ws of the servo track ST by a vibration actuator 2.例文帳に追加

サーボ信号検査装置Ｍは、磁気テープＭＴを走行させる磁気テープ駆動装置１と、磁気テープＭＴ上に記録されたサーボ信号Ｓを検出するサーボヘッドＳＨと、このサーボヘッドＳＨを振動アクチュエータ２でサーボトラックＳＴの幅Ｗｓの範囲内でテープ幅方向に振動させるように制御する制御装置３とを備える。 - 特許庁