冷却機構とヒータを併用して低い設定温度を実現するプローバのウエハチャックの温度の均一性を向上する。例文帳に追加

To improve the uniformity of the temperature of a wafer chuck in the prober for providing a low setting temperature by using a cooling mechanism and a heater together. - 特許庁

ウエハチャック１２の上方には一対の正電極４１、負電極４２が平行に対向して配置され、電源４３が接続されている。例文帳に追加

Above the wafer chuck 12, a pair of positive electrode 41 and negative electrode 42 is so disposed that the two electrodes face parallel to each other, and a power supply 43 is connected to the pair of electrodes. - 特許庁

ウエハチャック３に、レジスト１面を下向きにしてウエハ２を固定し、格子状に整列された複数のノズル５より、レジスト面に対して下方から霧状の現像液４をウエハ２全面に均一に噴射する。例文帳に追加

After fastening a wafer 2 to a wafer chuck 3 in the state of turning down a resist surface 1 of the wafer 2, atomized developer 4 is jetted to the whole surface of the wafer 2 uniformly from under the resist surface by a plurality of nozzles 5 aligned in the form of a grid. - 特許庁

ハチノコ、ローヤルゼリーまたはそれらの抽出物をタンパク質分解酵素処理することによって生じる褐変化現象を抑制する方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for inhibiting browning phenomena caused when a larva of a bee, loyal jelly or an extract thereof is subjected to proteolytic enzyme treatment. - 特許庁

液浸露光装置において、ウエハチャック２０の周囲に、表面に金属酸化物２２を設けたウエハ表面と略同一な高さの液体保持部２１を設けると共に、前記金属酸化物の表面を照射するための露光光と異なる波長の光源２３等の撥液性回復手段を備える。例文帳に追加

An immersion aligner is provided with a liquid holding unit 21, which is provided with metal oxide 22 on a surface and has a height nearly in level with a wafer surface, around a wafer chuck 20, and also equipped with a water repellency recovering means such as a light source 23 having a wavelength different from that of the exposure light to irradiate a surface of the metal oxide. - 特許庁

セルフリフレッシュタイマ回路１００中のリング発振回路は、ヒューズの切断によって遅延時間の増減が可能な反転増幅回路を有しており、ウエハチェック工程において、出力信号ＯＵＴの測定結果に基づいて内部タイミング信号ＴＩＭの周期を適切に調節することができる。例文帳に追加

The ring oscillation circuit inside the self-refresh timer circuit 100 has an inversion amplifier capable of increasing/decreasing delay times by cutting a fuse and in a wafer check process, the cycle of the internal timing signal TIM can be controlled suitably, on the basis of the measured result of the output signal OUT. - 特許庁