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該当件数 : 2件
傾き検出センサ２６は、滴下ノズル１７の軸方向の鉛直方向からの傾斜角度を測定し、傾斜角度情報を補正部２８Ｃへ出力する。例文帳に追加
A tilt detection sensor 26 measures a tilt angle from a perpendicular direction to a shaft direction of a dropping nozzle 17 and outputs tilt angle information to a compensating section 28C. - 特許庁
平面形状が角型の基板Ｗを吸着保持した状態で回転可能なチャック部２０と、回転状態の基板Ｗの表面に対して拡散材を滴下する滴下ノズルと、基板Ｗの裏面側に洗浄液を供給する洗浄ノズル２２ａと、を備えた塗布装置である。例文帳に追加
The coating apparatus includes: a chuck part 20 capable of being rotated while sucking and holding a substrate W having a rectangular planar shape; a dropping nozzle dropping a diffusion material on the surface of the substrate W in a rotating state; and a cleaning nozzle 22a supplying a cleaning liquid on a back surface side of the substrate W. - 特許庁
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