例文 (21件) |
"石定盤"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 21件
架台4上に9個の除振マウント5を設け、その上に石定盤6を設ける。例文帳に追加
Nine anti-vibration mounts 5 are provided on a trestle 4, and a stone surface plate 6 is provided on it. - 特許庁
定盤修正用砥石、定盤修正用研磨装置及び研磨定盤の修正方法例文帳に追加
GRINDING WHEEL FOR CORRECTING SURFACE PLATE, POLISHING DEVICE FOR CORRECTING SURFACE PLATE, AND METHOD FOR CORRECTING POLISHING SURFACE PLATE - 特許庁
ワーク載置部を支持する石定盤を不要にしてステージに位置検出精度を確保する。例文帳に追加
To provide a stage device capable of dispensing with a stone surface plate for supporting a workpiece loading part to ensure precision in position detection. - 特許庁
ステージ10aの設置にあたっては、まず、ステージ10aを構成するベース石定盤11a及び取付け石定盤12aを準備し、床面95の上を水平方向に移動可能なキャスター付きの架台81,82の上面にベース石定盤11a及び取付け石定盤11bを載置する。例文帳に追加
Upon installing a stage 10a, first, a base stone surface plate 11a and an attachment stone surface plate 12a configuring the stage 10a are prepared; and the base stone surface plate 11a and the attachment stone surface plate 11b are mounted on the upper faces of counters 81, 82 with casters capable of moving in a horizontal direction on a floor 95. - 特許庁
前記石定盤のサイズを前記移動体の滑走領域に対応する大きさとし、該石定盤をその受け部100aを持つ鋳鉄製の鋳物あるいは鋼構造物によるベース100に固定した。例文帳に追加
A size of the stone surface plate is brought into a size corresponding to a sliding area of the moving body, and the stone surface plate is fixed onto a base 100 by a casting made of cast iron or a steel structure having a receiving part 100a therefor. - 特許庁
そして、石定盤6上に1対のガイドベース7を設け、その上に、石定盤6に対してY方向に移動可能にCFRPからなる1対の支柱12を設ける。例文帳に追加
Then, a pair of guide bases 7 is provided on the stone surface plate 6, and a pair of posts 12 comprising CFRP is provided on it so that the pair of posts 12 can travel in the Y direction to the stone surface plate 6. - 特許庁
これによって、Y軸スライダ12,13専用のガイドを石定盤3,4の上面に設けることを不要とする。例文帳に追加
Accordingly, it is unnecessary to provide a guide exclusively used for the Y-axis sliders 12, 13 on the upper face of the stone surface plates 3, 4. - 特許庁
石定盤を備えるステージ装置において、要求される性能を満足したうえで大型化に適したステージ装置を提供する。例文帳に追加
To provide a stage device satisfying required performance and suitable for increasing the size, in a stage device provided with a stone surface plate. - 特許庁
与圧機構は、吸着ボックス体と石定盤との間の伸縮に伴う相互の水平方向のずれを許容するベアリング機構を持つ。例文帳に追加
The pressurizing mechanisms have bearing mechanisms permitting mutual deviation in a horizontal direction accompanying expansion and contraction between the suction box body and the stone plate. - 特許庁
各リニアモータのヨーク部を石定盤から構造的に分離して設置した一軸方向に延びるアーム11A、11Bを介してレール部に沿うように配置し、架台と石定盤との間には少なくとも1つの除振ユニット25を設置した。例文帳に追加
The yoke part of each linear motor is arranged along the rail parts through arm parts 11A and 11B extending uniaxially which are set to be separated structurally from the stone surface plate, and at least one vibration removing unit 25 is installed between the frame and the stone surface plate. - 特許庁
吸着盤リフトエアベアリング44が石定盤3,4の上面を滑走面として吸着盤11を支持し、更に、Y軸リフトエアベアリング14,16も石定盤3,4の上面を滑走面としてY軸スライダ12,13をそれぞれ支持する。例文帳に追加
A suction plate 11 is supported by an suction plate lift air bearing 44 having an upper face of stone surface plates 3, 4 as a sliding face, and Y-axis sliders 12, 13 are respectively supported by Y-axis lift air bearings 14, 16 also having the upper face of the stone surface plates 3, 4 as the sliding face. - 特許庁
ステージ装置10は、Xステージ30と、石定盤40と、反力による振動をキャンセルするキャンセル用アクチュエータ60A,60Bと、架台70とを有する。例文帳に追加
A stage apparatus 10 comprises an X stage 30, a stone surface plate 40, canceling actuators 60A, 60B for canceling vibration caused by reaction force, and a mount 70. - 特許庁
本発明はワークが載置される吸着板を支持する石定盤を不要にしてワークの大型化に対応すると共に、ステージの位置精度を確保することを課題とする。例文帳に追加
To provide a stage device capable of dispensing with a stone surface plate for supporting an absorption plate for loading a workpiece on it to cope with increase of size of the workpiece and ensure positional precision of a stage. - 特許庁
本発明によるステージ装置は、表面加工された石定盤20上を、静圧軸受パッド14a〜14cで支持された移動体14がX軸方向、Y軸方向に滑走移動可能に構成されている。例文帳に追加
In this stage device, a moving body 14 supported by static pressure bearing pads 14a-14c is slidably movable along an X-axis direction and a Y-axis direction, on the surface-worked stone surface plate 20. - 特許庁
このように、石定盤3,4をY軸スライダ12,13のガイドとして用いることによって、Y軸リフトエアベアリング14,16と吸着盤リフトエアベアリング44とで滑走面を共有させる。例文帳に追加
Thus, since the stone surface plates 3, 4 are used as guides for the Y-axis sliders 12, 13, the sliding faces are commonly used for the Y-axis lift air bearings 14, 16 and the suction plate lift air bearing 44. - 特許庁
本ステージ装置は、ノズル部60を、スライダにより架台10上に設置された石定盤20上に配置された基板テーブル30の上方を一軸方向に搬送する。例文帳に追加
In the stage apparatus, a nozzle part 60 is transported uniaxially above a substrate table 30 arranged on a stone surface plate 20 installed on a frame 10 by a slider. - 特許庁
石定盤と金属定盤とに温度差が発生しても金属定盤に熱歪みが発生することを防止し、伝送光学系を所定の状態に維持することができるレーザ加工装置を提供する。例文帳に追加
To provide a laser beam machining apparatus that prevents thermal distortion from occurring on a metallic surface plate even if a difference in temperature takes place in a stone surface plate and the metallic surface plate and that maintains a transmitting optical system in a prescribed state. - 特許庁
ガイドレールと台座部材とからなる滑動機構133,134を有するXY−テーブル130を石定盤105上に設置することで、上記XY−テーブルの内側に空間151を形成する。例文帳に追加
The XY table 130 provided on the stone plate 105 with a sliding mechanisms 133 and 134 composed of guide rails and base members in which a space 151 is formed inside the XY table. - 特許庁
スライダは、石定盤の両側において互いに平行に一軸方向に延びるように設置した2本のレール部21A、21Bに沿って走行可能な可動部を持つ2つのリニアモータによる2つのY軸駆動機構40A、40Bを含む。例文帳に追加
The slider includes two Y-axis driving mechanisms 40A and 40B by two linear motors having movable parts which can travel along two rail parts 21A and 21B installed to extend uniaxially in parallel with each other on both sides of the stone surface plate. - 特許庁
石定盤からなる基台3によって固定部材2に固定される基材の表面の平面精度を確保し、リニアモータ11によって塗工手段10を塗工方向に円滑に移動させ、エアベアリング14,17によって塗工手段10の移動をより円滑化する。例文帳に追加
Plane precision of the surface of a base material which is fixed to a fixing member 2 by a base 3 consisting of a stone platform is secured, a coating means 10 is smoothly moved in the coating direction by a linear motor 11, and movement of the coating means 10 is smoothed more by air bearings 14, 17. - 特許庁
測定装置のステージ部架台より出された支持金具によって、サーマルチャンバの送風ブースを支持し、石定盤より上方のステージ部分のみ、一定温度に保つ構造とし、更に好ましくは、温調ユニットと送風ブースとを分離することにより、温調ユニットの機械振動を送風ブースに伝えない機能を備えたサーマルチャンバとした。例文帳に追加
Preferably, the thermal chamber further has a function of separating the temperature control unit from the blast booth, thereby preventing any mechanical vibration of the temperature control unit from transmitting to the blast booth. - 特許庁
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