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VUV spectrometerの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
In one embodiment, the sensor comprises an ion energy analyzer 400, a VUV (vacuum ultraviolet) photon detector 500, and a radical-ion species type optical emission spectrometer 600.例文帳に追加
基板上に、センサとして、イオン・エネルギー・アナラザ４００，ＶＵＶフォトン検出器５００，ラジカル・イオン種発光分光装置６００を備えた例である。 - 特許庁
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