「shielding method」に関連した英語例文の一覧と使い方(43ページ目) - Weblio英語例文検索

To provide an exterior cabinet of an electronic application equipment, along with its manufacturing method, of which cooling effect, durability, sound-shielding effect, and strength, etc. are superior and the outside plate member of the cabinet can be reused as a resource, when the internal electronic application equipment is disposed.例文帳に追加

本発明は、冷却効果、耐久性、遮音効果、強度等が優れていると共に、内部の電子応用機器を廃棄する際に、筐体の外側板部材を資源として再利用できる電子応用機器の外側筐体およびその製造方法に関するものである。 - 特許庁

To provide an image reading unit which can adjust a lens rotationally around its optical axis without allowing the occurrence of dislocation on the arrangement posture of a light shielding member with respect to a photoelectric conversion element, an image forming apparatus equipped with the image reading unit, and a method for assembling the image reading unit.例文帳に追加

遮光部材の光電変換素子に対する配置姿勢にずれを生じさせることなくレンズを光軸周りに回転調整することができる画像読取ユニット、該画像読取ユニットを備える画像形成装置及び画像読取ユニットの組立方法を提供する。 - 特許庁

To provide a soldering method and apparatus which enable one to restrain flow of shielding gas injected against a soldering object and concurrently, which permit a simple, efficient, and reasonable means for soldering without setting up along any exclusive injection device for gas injection around a soldering iron.例文帳に追加

はんだ付け対象に向けて噴射するシールドガスの流量を少なく抑えることができると共に、はんだ鏝の回りにガス噴射のための専用の噴射手段を付設する必要のない、簡単で効率的かつ合理的なはんだ付けのための手段を提供することにある。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a PDP front filter having a plurality of optical filters laminated on an electromagnetic wave shielding material, which is free from problems such as displacement of each optical filter in an optical filter laminate and curling of each optical filter.例文帳に追加

複数の光学フィルタを電磁波遮蔽材上に積層するＰＤＰ用前面フィルタの製造方法であって、光学フィルタ積層体中の各光学フィルタ層の位置ズレ、各光学フィルタのカールといった問題が生じないＰＤＰ用前面フィルタの製造方法を提供する。 - 特許庁

The method for manufacturing the semiconductor device comprises the steps of coating a TiN film 41 of an antireflection film on an Al shielding film 10, forming a black dye-filled polyimide film 11 thereon, opening the film 11 on a position for forming the marker 15, and thereafter opening the film 41 by anisotropically etching.例文帳に追加

Ａｌ遮光膜１０上に反射防止膜であるＴｉＮ膜４１を被覆し、その上に黒色染料入りポリイミド膜１１を形成し、マーカ１５を形成する箇所の上の黒色染料入りポリイミド膜１１を開口し、その後、ＴｉＮ膜４１を異方性エッチングで開口する。 - 特許庁

To provide a fence for preventing the invasion of birds or an animals, obtained by removing conventional defects by adversely utilizing the excellent visual sense and sense of smell possessed by birds or animals, or by shielding the sight just before the eyes by utilizing the habit of birds or animals in addition to a conventional protecting method.例文帳に追加

本発明は、従来の防御方法に加えて、鳥獣が持つ優れた視覚や嗅覚を逆に利用したり、鳥獣の習性を利用して眼前を遮断することにより、従来の欠点を無くした鳥獣進入防護柵を提供することを目的とするものである。 - 特許庁

To provide a technique related to optical waveguide and optical signal transmission and reception module, which shield stray lights of the signal light to a photodetector by disposing a light shielding layer between a silicon substrate and waveguide core, in the process for manufacturing the substrate of the optical waveguide as well as a method for manufacturing the optical waveguide.例文帳に追加

光導波路の基板製造工程においてシリコン基板と導波路コアの間に遮光層を設けることにより、受光素子への信号光の迷光を遮光する光導波路及び光送受信モジュール並びに光導波路製造方法に関する技術を提供する点にある。 - 特許庁

To provide a seepage control method of an apartment house veranda capable of preventing the incursion of water flow up to an adjacent veranda through a space between a partition provided to the veranda part in the apartment house such as apartment or the like and a veranda floor and an apartment house veranda section water flow shielding member used therefor.例文帳に追加

マンションなどの集合住宅におけるベランダ部分に設けられているパーティションとベランダ床との間の隙間を通って流水が隣りのベランダまで流れ込まないような集合住宅ベランダ部の遮水工法とそれに用いる集合住宅ベランダ部用流水遮蔽部材の提供。 - 特許庁

The method for shielding carbon dioxide in which a film formed by a composition comprising a water expandable synthetic inorganic phyllosilicate with a volume average particulate diameter of 3-50 μm and an aqueous dispersion of a hydrophobic resin with a volume average particulate diameter of ≤0.5 μm is used.例文帳に追加

体積平均粒子径が３〜５０μmである水膨潤性合成無機層状珪酸塩、および体積平均粒子径が０．５μm以下である疎水性樹脂水性分散体を含有する組成物から形成される被膜を使用することを特徴とする二酸化炭素の遮蔽方法。 - 特許庁

To provide a plasma processor in which a sputtering of a porous shielding plate can be prevented even if a surface is not protected with quartz and the like while a microwave field and electrically charged particles are shielded and a stable processing by activated neutral particles is performed, and to provide a plasma processing method.例文帳に追加

マイクロ波電界及び荷電粒子を遮蔽して活性化された中性粒子による安定した処理を行いつつ、石英等で表面を保護しなくても多孔遮蔽板のスパッタを防止することができるプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a condenser microphone capable of improving the electromagnetic shielding properties, by providing a conductive through hole on the sidewall of a casing substrate, even in a non-electromagnetic shielded section, where there is no portion to be electromagnetically shielded on the outer surface of a connection section in the casing substrate, and to provide the condenser microphone.例文帳に追加

筐体基板において、連結部の外側面に電磁シールドする部分がない無電磁シールド部にも筐体基板の側壁に導電性のスルーホールが設けられることにより、電磁シールド性を向上することができるコンデンサマイクロホンの製造方法及びコンデンサマイクロホンを提供する。 - 特許庁

The TIG arc or plasma arc tube-making welding method is characterized in that, in gas-shielding a weld zone, a shield plate is arranged in the front and the rear of a squeeze roll in parallel with the object to be welded so as not to interfere with the squeeze roll.例文帳に追加

ＴＩＧアークまたはプラズマアーク造管溶接方法において、溶接部をガスシールドするに際し、スクイズロールの前後に被溶接物と平行に、スクイズロールを干渉しないようにシールド板を配置することを特徴とするＴＩＧアークまたはプラズマアーク造管溶接方法。 - 特許庁

To provide an optical power measuring apparatus that enables offset adjustment without shielding light input to a photodiode at each lapse of time, and to provide an offset adjusting method for regularly executing the correction of an offset voltage in an electric circuit in measurement for a long time.例文帳に追加

フォトダイオードへの光入力の遮蔽を時間経過毎に行う必要のないオフセット調整が可能な光パワー測定装置および、長時間に亘る測定に際して、定期的に電気回路のオフセット電圧の補正を実行するオフセット調整方法を提供する。 - 特許庁

To provide a construction method of a continuous wall body, able to construct in a narrow land, low in cost, having a water shielding property, possible to clear to treat a pollutant soil at the position of the wall body, and equipped with a function for insolubilizing a pollutant material even if a ground-water containing the pollutant material penetrates from a surface of the wall body.例文帳に追加

狭い土地で施工可能で、安価で、遮水性能があり、壁体位置の汚染土壌を浄化して対応出来、汚染物質を含んだ地下水が壁体の表面から浸透しても汚染物質を不溶化させる機能を備えた連続壁体の築造工法。 - 特許庁

To provide a method for treating a special shell while preventing poison gas from spreading into the atmosphere during work by shielding the digging and treating site and a treating system of a special shell completely with a dome type tent or a pneumatic shield structure.例文帳に追加

特殊砲弾等の発掘、処理現場および処理装置をドーム型テントまたは空気圧力による遮蔽構造物で完全に遮蔽し、作業中に大気に毒ガス等が拡散しないようにしながら特殊砲弾を処理することができる特殊砲弾処理方法を提供する。 - 特許庁

To provide silicone composite particles which, when blended with a cosmetic, allow the cosmetic to exhibit properties of inorganic fine particles such as an ultraviolet light shielding property or sterilizing action and also allow a user to satisfy the good feeling of use of the cosmetic, to provide a method for producing the silicone composite particles, and to provide a cosmetic containing the same.例文帳に追加

化粧料に配合した場合、紫外線遮蔽性又は殺菌性といった無機微粒子の特性を発揮させると共に、良好な使用感を満足させるシリコーン複合粒子及びその製造方法、ならびにこのシリコーン複合粒子を含有する化粧料を提供する。 - 特許庁

To provide a radioactive waste disposal container which has little internal defect, is excellent in ability of shielding radioactive rays, and has a rectangular parallelopiped section so that it can be efficiently installed in a storage space, a method of manufacturing the container, and an apparatus of manufacturing the container.例文帳に追加

内部欠陥が少なく放射線の遮蔽能力に優れ、かつ、断面が四角筒状をなして収容スペースに効率良く配置することができる放射性廃棄物処分容器、この放射性廃棄物処分容器の製造方法及び放射性廃棄物処分容器の製造装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding window material having a mesh metal conductive layer, in which the mesh pattern by conductive ink can be made thinner without causing distortion of the pattern or unevenness in line width or layer thickness.例文帳に追加

メッシュ状の金属導電層を有する光透過性電磁波シールド性窓材を製造する方法であって、パターンの歪みや、線幅や層厚の不均一を生じることなく、導電性インクの印刷によるメッシュ状パターンをさらに細線化ができる製造方法を提供すること。 - 特許庁

The manufacturing method includes: forming a sheet or a strip into tubular shape after applying specified nitriding to the sheet or the strip-like titanium used for manufacturing the pipe by carrying out nitriding and heat treatment by heating it in a gaseous nitrogen atmosphere; and shielding the butted part with gaseous argon and carrying out welding.例文帳に追加

その製造方法は、造管に用いる板または帯状のチタンを窒素ガス雰囲気で加熱することによって窒化熱処理して所定の窒化を施した後、その板または帯を管形状に成形し、そのつき合わせ部をアルゴンガスでシールドして溶接するものである。 - 特許庁

Furthermore, each of the grounds of the frame 21 including the ground 25 and grounds 25a to 25d, which are adjacent to each other with an interval equivalent to 1/20 wavelength of a frequency as the purpose of shielding, is connected to the ground pattern of the substrate 10 by a soldering method or the like.例文帳に追加

さらに、接地箇所２５及び接地箇所２５ａ乃至２５ｄを含めシールドの目的とする周波数の２０分の１波長相当以下の間隔をおいて隣り合う枠部２１の接地箇所のそれぞれを、はんだ付け等の方法により基板１０の接地パターンに接続する。 - 特許庁

To provide a bright coating composition for forming bright coating films which each has a shielding property, a light interfering property, enhanced light brightness and dense appearance due to the combination of both titanium dioxide-coated aluminum flakes and titanium dioxide-noncoated aluminum flakes, to provide a method for forming the coating film, and to provide a multilayered coating film.例文帳に追加

隠蔽性および二酸化チタン被覆有無の２種類のアルミニウムフレークを用いた複合による干渉性と光輝感のアップと緻密感を有する光輝性塗膜を形成する光輝性塗料組成物、塗膜形成方法および複層塗膜を提供する。 - 特許庁

In the method for manufacturing an image sensor 100 for converting a light received from a light source to an electric signal, a light transmitting film 21 is formed on a CCD element 10 on which light receiving areas 3R, 3G, 3B are formed and a light shielding film 23 is formed on the light transmitting film 21.例文帳に追加

光源から受けた光を電気信号に変換するイメージセンサ１００の製造方法であって、受光領域３Ｒ、３Ｇ、３Ｂが形成されたＣＣＤ素子１０上に光透過膜２１を形成し、この光透過膜２１上に遮光膜２３を形成する。 - 特許庁

The manufacturing method for windows 4 having electric wave stealth property and/or electromagnetic wave shielding property consists of two steps, a step to form a thin film 2 made from an electric conductive material on the surface of a transparent window member 1 assuming a curved surface and a step to subject the thin film 2 to a processing to generate a mesh form.例文帳に追加

曲面形状をなす透明な窓部材１の表面に、導電性材料からなる薄膜２を形成するステップと、該薄膜２を処理してメッシュ形状に形成するステップとを備える電波ステルス性および／または電磁波シールド性を有する窓４の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a filter for a display easily applicable as an existing filter for a display, particularly as a filter for a display in a direct adhesion form while having functions, e.g., of improving electromagnetic wave shielding, color purity and contrast, to provide its manufacturing method, and to provide a plasma display panel adopting the same.例文帳に追加

電磁波遮蔽、色純度及びコントラストの向上などの機能を有しつつも、既存のディスプレイ用フィルタ、特に、直付着形態のディスプレイ用フィルタとして容易に適用できるディスプレイ用フィルタ、その製造方法及びそれを採用したプラズマディスプレイパネルを提供する。 - 特許庁

In the CZ method-based single crystal pulling device having a heat shielding body being made vertically movable in a CZ furnace, a chamber 11 constituting the outer shell of the device is divided into the lowest stage chamber 11Z, the middle stage chamber 11Y and the highest stage chamber 11X and each of the chambers is made independently rotatable.例文帳に追加

ＣＺ炉内を昇降する熱遮蔽体を備えるＣＺ法単結晶引上げ装置において、装置の外殻を構成するチャンバ１１を、下段チャンバ11Ｚ、中段チャンバ11Ｙ、上段チャンバ11Ｘと、それぞれ分離したものが個々に旋回するように構成する。 - 特許庁

To provide a display imaging apparatus and method, folding portable electronic equipment and a display device function with a light shielding function to be used for a TV telephone, a TV conference system and a moving picture and still picture imaging device or the like for obtaining the effect capable of obtaining a matched visual line.例文帳に追加

ＴＶ電話やＴＶ会議システムや動画及び静止画撮像装置等に用いられ、視線一致を可能にする効果が得られる表示撮像装置及び表示撮影方法及び折り畳み式携帯電子機器及び遮光機能付き表示装置機能を提供する。 - 特許庁

In depositing a film of vapor deposition material on the surface of a substrate 410b for vapor deposition by a vacuum vapor deposition method, temperature elevation in a substrate 410a for vapor deposition outside the vapor deposition area is suppressed by interrupting the radiant heat of the vaporized or sublimated vapor deposition material 409 by a shielding mechanism 414.例文帳に追加

真空蒸着法により被蒸着物４１０ｂ表面に蒸着物質の膜を形成する際に、気化又は昇華した蒸着物質４０９の輻射熱を遮蔽機構４１４により遮ることで、蒸着エリア外の被蒸着物４１０ａの昇温を抑制する。 - 特許庁

To provide an electroconductive film-forming liquid which imparts various functions, such as photocatalytic, antibacterial, stainproof, antistatic, and electromagnetic shielding properties, to the surfaces of various substrates, such as glass, ceramics, metals, and plastics; a structure having its surface covered with an electrically conductive film formed from the liquid; and a method for producing the liquid.例文帳に追加

ガラス、セラミック、金属、プラスチック等の各種基材表面に光触媒性能、抗菌性能、防汚性能、帯電防止能、電磁シールド性等の各種機能を発現させる導電性被膜形成液、該被膜を表面に有する構造体及び該形成液の製造方法の提供。 - 特許庁

The method 1 for producing a magnetic card comprises the steps of adding a shielding layer, pattern, ground color, instruction or back side magnetic tape 16 to a white card 10 having two core sheets laminated with front and back over sheets 13 and 14 at the stage where the card is in a piece form, and subjecting the card to hot press and finish punching.例文帳に追加

本発明の磁気カードの製造方法の１は、コアシート２枚に表裏オーバーシート１３，１４を積層したホワイトカード１０に対して、隠蔽層や絵柄、地色、説明文、裏面磁気テープ１６を小切れの段階で付加し、熱圧プレス、仕上げ抜きする工程からなる。 - 特許庁

To provide an exposure mask for an aligner capable of approaching to a photoresist film with a light shielding pattern formed on a surface of a substrate to be processed when exposed, closely thereto or under a condition near to a close contact, even when protruded contamination exists on the surface of the substrate to be treated, and to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

被処理基板の表面に突起状の異物が存在しても、露光の際に遮光膜パターンを被処理基板の表面に形成されたフォトレジスト膜に密着、或いは密着に近い状態で接近させることが可能なアライナ用露光マスク及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a molded article 20 of a fiber reinforced plastic being excellent in mechanical characteristics of strength, rigidity, etc., and electromagnetic wave shielding characteristics and applicable also to a smooth surface decorating process such as high-brightness coating and having an outward appearance of the smooth surface free of indentation and exposure of fibers, and also provide a manufacturing method therefor.例文帳に追加

強度・剛性等の機械特性、電磁波遮蔽特性に優れ、かつ高輝度塗装等の滑らかな表面加飾工程にも適用可能な、凹凸や繊維露出のない平滑な表面外観を備えた繊維強化プラスチック製成形品２０と、その製造方法を提供する。 - 特許庁

To realize a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, in a configuration in which light shielding film such as a reflecting film is formed on drive elements through a resin layer, controlling light which passes through the resin layer to reach the drive elements, and alleviating problems in relation to photoconductivity of the drive elements.例文帳に追加

駆動素子上に樹脂層を介して反射膜などの遮光膜を形成した構成において、樹脂層を通って駆動素子に到達する光を抑制し、駆動素子の光導電性による不具合を軽減した液晶表示装置およびその製造方法を実現する。 - 特許庁

This method comprises using a high-sensitivity negative type resist 14 and a low-sensitivity type negative resist 15 and exposing the high- sensitivity negative type resist 14a and the low-sensitivity type negative resist 15a in a light shielding band region 10a and exposing the high-sensitivity negative type resist 14b in a halftone region 10b.例文帳に追加

高感度ネガ型レジスト１４と低感度ネガ型レジスト１５とを用い、遮光帯領域１０ａでは高感度ネガ型レジスト１４ａと低感度ネガ型レジスト１５ａとを露光し、ハーフトーン領域１０ｂでは高感度ネガ型レジスト１４ｂを露光するように構成した。 - 特許庁

This invisible individual identifying method reproduces the individual information record with the transmitting light of a recording medium by forming the individual information record print-recorded on a recording medium by a two-dimensional code and with ink of material having strong shielding ability to visible light and radiation adjacent to it.例文帳に追加

個品情報を二次元コードで、且つ、可視光およびその近隣の放射線に対する遮蔽性の強い材質のインキで、記録媒体に印字記録した個別情報記録を形成し、記録媒体の透過光により個別情報記録を再生することを特徴とする非可視個別識別方法。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a transparent vapor-deposited film which can prevent troubles of wrinkles caused by the radiation heat from a vapor deposition source and can enhance the gas shielding performance of a transparent vapor-deposited film when continuously manufacturing a plastic film having an inorganic oxide layer on at least its one side by using a vapor deposition system.例文帳に追加

少なくとも片面に無機酸化物層を持つプラスチックフィルムを蒸着装置を用い連続的に製造するときにおいて蒸着源からの輻射熱でおこるシワなどが発生するトラブルを防ぎかつ、透明蒸着フィルムのガス遮断性能を向上させること。 - 特許庁

To provide a cover ray film which has an electromagnetic wave shielding function, is superior in flexibility, can make a flexible printed wiring board thin, and eliminates the need to connect an electromagnetic wave shield layer to a ground circuit of the flexible printed wiring board, to provide a method of manufacturing the same, and to provide the flexible printed wiring board having the cover ray film.例文帳に追加

電磁波シールド機能を有し、屈曲性に優れ、フレキシブルプリント配線板の薄肉化能であり、かつ電磁波シールド層をフレキシブルプリント配線板のグランド回路に接続させる必要がないカバーレイフィルム、その製造方法および該カバーレイフィルムを備えたフレキシブルプリント配線板を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a three-dimensional curved surface structure capable of manufacturing effectively a three-dimensional curved surface structure, having both electromagnetic wave shielding performance and light transmissivity, which can be made with a low temperature deposition, and capable of exhibiting sufficient conductivity even if a metal nanowire content is low.例文帳に追加

電磁波遮蔽性と光透光性を兼ね備え、低温製膜が可能であり、かつ金属ナノワイヤーの含有量が少なくても、十分な導電性を発現できる三次元曲面構造体を効率よく製造することができる三次元曲面構造体の製造方法の提供。 - 特許庁

To provide a coil manufacturing method for a coil ensuring a high magnetic shielding function on the opposite surface of an electromagnetic coupling side surface while ensuring high inductance characteristics on the electromagnetic coupling side surface, at a low manufacturing cost.例文帳に追加

本発明は、電磁結合する側の面において高いインダクタンスの特性を確保しつつ、電磁結合する側の面とは反対側の面において高い磁気シールド機能を確保することができるコイルを、安価な製造コストで製造することができるコイルの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for perfectly curing a resin composition only by UV irradiation by adding a photopolymerization initiator (reaction catalyst system) containing a specific binary or more system in the resin composition having high shielding properties against energy ray, such as a carbon fiber reinforced polymer (CFRP).例文帳に追加

炭素繊維強化複合材（ＣＦＲＰ）のようなエネルギー線の遮蔽性が高い樹脂組成物系に特定の２元系以上からなる光重合開始剤（反応触媒系）を存在さることによりＵＶを照射するだけで該樹脂組成物を完全に硬化させること。 - 特許庁

In the heating device and the heating method for heating a heated material by irradiation of electromagnetic waves, plate materials for shielding, absorbing and/or reflecting irradiation beams equipped with a given pattern profile are enabled to be arranged at least partially in the vicinity of the heated material.例文帳に追加

電磁波の照射により被加熱材を加熱する加熱装置及び加熱方法であって、該照射線を遮蔽、吸収及び／又は反射するとともに、所定パターンプロフィルを有するプレート材を少なくとも部分的に、該被加熱材に近接して配置可能にした加熱装置及び加熱方法。 - 特許庁

The fabricating method of the front filter of the plasma display panel includes the stages of preparing a roll type film filter layer including an electromagnetic wave shielding layer 324 cutting off an electromagnetic wave discharged within the panel and of laminating the roll type film filter layer on the front panel of the plasma display panel.例文帳に追加

パネルの内部から放出される電磁波を遮断する電磁波遮蔽膜を含むフィルムフィルタ層をロールタイプに用意する段階と、前記ロールタイプのフィルムフィルタ層を前面パネルにラミネートする段階と、を備えてなるプラズマディスプレイパネルの前面フィルタの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a plasma ion mass spectrometry device and method which enables introduction of sample ion to a mass spectrometer by maintaining plasma temperature high as well as preventing degradation of ion generation volume due to plasma temperature fall while carrying out shielding of electromagnetic wave from the surroundings of an apparatus or cooling it.例文帳に追加

機器周辺への電磁波の遮蔽、或いはその冷却をしながらプラズマの温度低下によるイオン生成量の低下を防止し、プラズマの温度を高温に維持して試料のイオンを質量分析計に導入することを可能としたプラズマイオン質量分析装置と分析方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing boride fine particles having particle diameters suitable for a solar radiation shielding material at a low cost, the boride fine particles manufactured by the same, and a dispersion liquid for forming the solar radiation shield using the boride fine particles.例文帳に追加

日射遮蔽材に適した粒子径を有するホウ化物微粒子を、低コストで製造する製造方法、および当該製造方法にて製造されたホウ化物微粒子を提供し、さらには、当該ホウ化物微粒子を用いた日射遮蔽体形成用分散液を提供する。 - 特許庁

To provide a glass pane determination device for a vehicle and a recovery method capable of determining surely ultraviolet shielding glass by a compact portable device, without requiring a large device for sorting a large number of glass debris pieces, and capable of obtaining recycling glass of high quality.例文帳に追加

多数のガラス破片を分別するための大掛かりな装置を必要とせず、小型で携帯可能な装置により確実に紫外線遮蔽ガラスの判別ができ、高品質の再利用ガラスを得ることができる車両用窓ガラス判別装置及び回収方法を提供する。 - 特許庁

To provide a deflector used in a charged particle beam exposure apparatus hard to be electrified and capable of shielding a leaked electric field caused by electrification to minimize an influence, the charged particle beam exposure apparatus, and a device manufacturing method using the exposure apparatus.例文帳に追加

帯電が起こりにくく、且つ、帯電による漏れ電界を遮蔽し、影響を最小限にとどめることができる荷電粒子線露光装置に使用される偏向器及びその荷電粒子線露光装置及びその荷電粒子線露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。 - 特許庁