「吹走距離」を含む例文一覧(3)
- 或いは、ガスは、基板１上を走査するように移動するガス吹き付け体３６により基板１に吹き付けられるため、基板１の全面に渡ってリフロー距離Ｌを精度良く制御することができる。
Or, the gas is blowed on the substrate 1 through a gas blowing body 36 moving over the substrate 1 as it scans, so that the reflow distance L can be precisely controlled through all the surface of the substrate 1. - 特許庁 - また、ヘッド部分からの吹き出しエア量を変化又は断続させながら、磁気テープ媒体をエラー発生位置を中心に所定距離だけ前後に往復走行させた後に再度書き込み又は読み出しを行う。
Furthermore, writing or reading is retried after running the magnetic tape medium forward and backward by a predetermined distance centering the error occurrence position while varying or intermitting an amount of blew-down air from a head part. - 特許庁 - トリメチルアルミニウムガスが処理室３２内加熱領域に入ってから吹出口５９群および吹出口６９群から吹き出されるまでの助走距離が長く、かつ略等しいので、ボート４０の上部と下部とでトリメチルアルミニウムガスの供給量が均一になり、６００℃でウエハ上に形成されたウエハ面内均一性およびウエハ相互間均一性が高まる。
Since inlet lengths for which trimethylaluminum gas travels after entry to a heating region in the processing chamber 32 till being jetted from the group of jets 59 and the group of jets 69 are long and are approximately equal to each other, the supply amount of trimethylaluminum gas is uniform above and below the boat 40 to enhance uniformity within a wafer surface formed on a wafer at 600°C and uniformity between wafers. - 特許庁
- 特許庁
- Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved.
