集束イオンビーム装置、集束イオンビーム装置を用いた試料加工方法及び試料加工プログラム FOCUSED ION BEAM DEVICE, AND SAMPLE PROCESSING METHOD AND PROGRAM USING THE SAME - 特許庁
集束イオンビーム装置,集束イオンビーム装置の制御方法及び接触検出方法 FOCUSED ION BEAM DEVICE, METHOD OF CONTROLLING IT, AND METHOD OF DETECTING CONTACT - 特許庁
集束イオンビーム加工装置及び集束イオンビームを用いる試料の加工方法 FOCUSING ION BEAM PROCESSING DEVICE AND PROCESSING METHOD FOR SPECIMEN USING FOCUSING ION BEAM - 特許庁
集束イオンビームを用いた試料加工方法、及び集束イオンビーム加工装置 SAMPLE PREPARING METHOD THROUGH USE OF FOCUSING ION BEAM AND FOCUSING ION BEAM PREPARING DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム加工用試料ホルダー及びそれを用いた集束イオンビーム加工装置 SAMPLE HOLDER FOR FOCUSING ION BEAM WORKING AND FOCUSING TON BEAM WORKING DEVICE USING IT - 特許庁
集束イオンビーム加工用データの作成方法、集束イオンビーム加工装置および加工方法 PREPARING METHOD OF DATA FOR FOCUSED ION BEAM MACHINING, AND FOCUSED ION BEAM MACHINING DEVICE AND METHOD - 特許庁
荷電粒子線装置及び集束イオンビーム装置 CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS AND FOCUSED ION BEAM APPARATUS - 特許庁
試料観察装置,集束イオンビーム装置 SAMPLE OBSERVATION DEVICE, AND FOCUSING ION BEAM APPARATUS - 特許庁
荷電粒子ビーム装置および集束イオンビーム装置 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND FOCUS ION BEAM DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム装置及びその制御装置 FOCUSED ION BEAM DEVICE, AND DEVICE FOR CONTROLLING THE SAME - 特許庁
集束イオンビーム加工装置の加工位置補正装置 WORKING POSITION CORRECTING DEVICE FOR FOCUSED ION BEAM WORKING DEVICE - 特許庁
小型高エネルギー集束イオンビーム装置 SMALL HIGH ENERGY FOCUSED ION BEAM DEVICE - 特許庁
アパーチャおよび集束イオンビーム装置 APERTURE AND FOCUSED ION BEAM DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム装置の試片冷却システム TESTPIECE COOLING SYSTEM OF FOCUSED ION BEAM APPARATUS - 特許庁
集束イオンビーム加工方法及び加工装置 FOCUSING ION BEAM WORKING METHOD AND WORKING DEVICE - 特許庁
集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 FINE REGION ANALYZER USING CONVERGED ION BEAM - 特許庁
集束イオンビームによる試料加工方法及び装置 SAMPLE PROCESSING METHOD AND APPARATUS USING FOCUSED ION BEAM - 特許庁
集束イオンビーム修正装置及び欠陥保証方法 CONVERGENT ION BEAM CORRECTING DEVICE AND DEFECT GUARANTEEING METHOD - 特許庁
集束イオンビーム装置及び試料処理方法 CONDENSED ION BEAM DEVICE AND SAMPLE PROCESSING METHOD - 特許庁
集束イオンビーム質量分析装置および分析方法 FOCUSED ION-BEAM MASS SPECTROMETER AND ANALYSIS METHOD THEREOF - 特許庁
集束イオンビーム加工観察装置用試料ホールダ SAMPLE HOLDER FOR FOCUSED ION BEAM MACHINING OBSERVATION DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム装置及び試料の加工方法 FOCUSED ION BEAM DEVICE AND SPECIMEN MACHINING METHOD - 特許庁
集束イオンビーム用ガス導入装置 GAS INTRODUCING DEVICE FOR FOCUSED ION BEAM - 特許庁
加工深さ計測機能付集束イオンビーム加工装置 FOCUSED ION BEAM WORKING APPARATUS WITH WORKING DEPTH MEASURING FUNCTION - 特許庁
集束イオンビーム装置、及びそれに用いる絞り FOCUSED ION BEAM APPARATUS AND LENS DIAPHRAGM USED IN IT - 特許庁
収差補正集束イオンビーム装置 ABERRATION CORRECTING FOCUSED ION BEAM DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム装置のガス供給機構 GAS SUPPLY MECHANISM FOR FOCUS ION BEAM SYSTEM - 特許庁
集束イオンビーム加工方法及び装置 FOCUSED ION BEAM PROCESSING METHOD AND ITS DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム装置用標準試料 REFERENCE SAMPLE FOR FOCUSED ION BEAM DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム装置の電荷中和方法 CHARGE NEUTRALIZATION METHOD FOR CONVERGENT ION BEAM DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム装置のレンズ保護用絞り LENS-PROTECTING APERTURE FOR FOCUSED ION-BEAM APPARATUS - 特許庁
イオンビームのドリフトを早期に視覚的に検出可能な集束イオンビーム装置の実現する。 To realize a focused ion beam device which can visually detect a drift of an ion beam in an early stage. - 特許庁
本発明は集束イオンビーム装置に関し、中性粒子を除去してイオン照射が可能なようにした集束イオンビーム装置に関する。 To provide a focused ion beam device capable of performing ion irradiation by removing neutral particles. - 特許庁
集束イオンビーム装置の液体金属イオン源を安定稼動させる。 To stably operate a liquid metal ion source for a focusing ion beam device. - 特許庁
中和用エネルギー線の位置合わせ方法および集束イオンビーム装置 POSITIONING OF NEUTRALIZING ENERGY BEAM AND FOCUSED ION BEAM APPARATUS - 特許庁
試料の高さ出し機能を備えた集束イオンビーム装置 FOCUSING ION BEAM DEVICE HAVING HEIGHT ADJUSTMENT FUNCTION OF SAMPLE - 特許庁
集束イオンビーム装置による二次荷電粒子像の観察方法 METHOD OF OBSERVING SECONDARY CHARGED PARTICLE IMAGE ON FOCUSED ION BEAM APPARATUS - 特許庁
大きな試料の観察・加工を可能とする集束イオンビーム装置 FOCUSED ION BEAM DEVICE ENABLING OBSERVATION AND MACHINING OF LARGE SAMPLE - 特許庁
集束イオンビーム装置、及びそれを用いた試料の加工方法 FOCUSED ION BEAM DEVICE, AND PROCESSING METHOD OF SAMPLE USING THE SAME - 特許庁
集束イオンビームによる観察・加工方法およびその装置 OBSERVATION AND WORKING METHOD BY FOCUSED ION BEAM AND ITS DEVICE - 特許庁
集束イオンビーム加工装置及びそれに用いる試料台 FOCUSED ION BEAM PROCESSING DEVICE AND SAMPLE BASE USED FOR IT - 特許庁
集束イオンビーム加工方法及び荷電粒子ビーム装置 CONVERGED ION BEAM WORKING METHOD, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE - 特許庁
薄片試料作製方法および複合集束イオンビーム装置 LEAF SAMPLE PREPARING METHOD AND COMPOSITE CONVERGED ION BEAM DEVICE - 特許庁