「Alignment Accuracy」を含む例文一覧(685)
＜前へ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 .... 13 14 次へ＞- The number N of times by which the operations are repeated is determined based on a position alignment accuracy (accuracy of superposition) of patterns or a time taken for pattern transfer.
繰り返しの回数Ｎは、パターンの位置合わせ精度（重ね合わせ精度）又はパターンの転写に要する時間に基づいて定められる。 - 特許庁 - To improve the throughput of an alignment method by omitting search alignment to be performed on a prescribed wafer without lowering the overlay accuracy when alignment and transfer are successively performed on a plurality of substrates.
複数枚の基板に対して順次アライメント及び転写を行う際に、重ね合わせ精度を低下させることなく、所定のウエハに対してサーチアライメントを省略してスループットを向上する。 - 特許庁 - To maintain the alignment accuracy between a mask and a glass substrate of an exposure device until exposure.
露光装置において、マスクとガラス基板との間の位置合わせ精度を露光時まで維持できるようにする。 - 特許庁 - At this time, deterioration of alignment accuracy during reproduction is concerned due to decrease of sync percentage.
このとき、シンクの割合が少なくなることによっては再生時の位置合わせ精度の低下が懸念される。 - 特許庁 - To provide an indicating instrument which can reduce the number of parts and improve the alignment accuracy.
部品点数の削減及び位置合わせ精度の向上を可能とする指示計器を提供すること。 - 特許庁 - To provide a non-contact type ultrasonic tonometer, measuring the ocular tension of a subject's eye with good accuracy and facilitating alignment with the examined eye.
被検者眼の眼圧を精度良く測定すると共に、被検眼に対するアライメントを容易に行う。 - 特許庁 - To improve alignment accuracy of a light-receiving sensor on the surface side and a microlens and a color filter on the rear side furthermore.
表面側の受光センサと裏面側のマイクロレンズおよびカラーフィルタとのアライメント精度をより上げる。 - 特許庁 - METHOD OF FORMING MARK FOR ALIGNMENT AND FOR VERIFYING POSITIONING ACCURACY IN SEMICONDUCTOR WAFER
半導体ウエーハのおける位置精度検証用マークの形成方法、及びアライメント用マークの形成方法 - 特許庁 - To provide a new pattern forming method to be applied to high-accuracy alignment of a mold and a work.
モールドとワークとの高精度な位置合わせに適用される新規なパターン形成方法を提供する。 - 特許庁 - To adhere a spring component to a layered body with high alignment accuracy without increasing the expense and labor.
経費及び労力を増加させることなく、バネ部品と積層体とを位置合わせ精度良く貼り合わせる。 - 特許庁 - To provide an image-forming device for improving detection accuracy of a reference part for alignment of images.
画像の位置合わせ用の基準部の検知精度を向上させる画像形成装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a highly reliable disk medium driving device improving the alignment accuracy of a disk medium.
ディスク媒体の調芯精度を向上でき、信頼性の高いディスク媒体駆動装置を提供すること。 - 特許庁 - To improve accuracy in the detection of a box mark or an alignment mark while suppressing complexity in manufacturing steps.
製造工程の煩雑化を抑制しつつ、ボックスマークあるいはアライメントマークの検出精度を向上させる。 - 特許庁 - To provide an exposure method in which throughput is improved, while performing alignment with high accuracy.
高精度なアライメントを行いつつ、スループットの向上を図ることが可能な露光方法を提供する。 - 特許庁 - To generate a stable alignment resisting force without depending upon the accuracy of components or the assembling precision.
部品精度や組立精度に左右されることなく、安定した調心抗力が得られるようにする。 - 特許庁 - To obtain the arrangement of marks for measurement capable of measuring the error quantity of an alignment error with high accuracy.
アライメント誤差の誤差量を高精度に測定することができる測定用マークの配置を提供する。 - 特許庁 - To detect a position of an alignment mark on a mask and a position of an alignment mark in a base pattern of a substrate with high accuracy by acquiring sharp images of the alignment mark on the mask and of the alignment mark in the base pattern of the substrate and carrying out an image recognition process.
マスクのアライメントマークの画像及び基板の下地パターンのアライメントマークの画像をそれぞれ鮮明に取得して画像認識を行い、マスクのアライメントマークの位置及び基板の下地パターンのアライメントマークの位置を精度良く検出する。 - 特許庁 - To provide a laser beam machine capable of realizing an improvement in workability and high-accuracy alignment relating to observation of workpiece processing accuracy of a laser beam machine.
レーザ加工機においてワーク加工精度の観察に関する作業性の向上及び高精度位置合わせを実現し得るレーザ加工機を提供する。 - 特許庁 - To provide a sheet delivering device capable of preventing the deterio ration of alignment accuracy due to excessive feeding, and with excellent align ment accuracy at all times.
紙揃えの過分送り量による揃え精度悪化を防止し、常に最良の揃え精度を得ることができるシ−ト排出装置を提供することにある。 - 特許庁 - To enable reduction of color phase irregularities and suppression of deterioration in yield owing to dimensional accuracy and alignment accuracy of a lens and a color transformation member.
色むらを低減でき且つレンズおよび色変換部材の寸法精度や位置決め精度に起因した歩留まりの低下を抑制できる発光装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an exposure device for microlens arrays providing easy alignment and high accuracy and an exposure method for the microlens array providing high accuracy and high optical efficiency.
位置合わせが容易で、高精度なマイクロレンズアレイの露光装置、及び高精度かつ光効率の高いマイクロレンズアレイの露光方法を提供する。 - 特許庁 - In the local area setting step, a local area setting unit sets a local area which is an execution object area of a local alignment which is executed at accuracy higher than required alignment accuracy.
局所領域設定ステップでは、局所領域設定部が、アライメント対象領域の中から、アライメント要求精度以上の精度で行われる局所アライメントの実行対象領域である局所領域を設定する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method of a color filter which can be manufactured in a simple process, in which position accuracy for a substrate of an alignment mark is high and which can enhance alignment mark pattern formation accuracy when ink is ejected.
簡単な工程で作製することができ、アライメントマークの基板に対する位置精度が高く、インクを吐出する際のアライメントマークパターン形成精度を高めることができるカラーフィルタの製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a panel alignment system for aligning a pair of electrode substrates of a liquid crystal display panel, the system being capable of improving the alignment accuracy, cell gap accuracy, production yield or the like.
一対の液晶表示パネルの電極基板等を貼り合わせるにあたり、貼り合わせ位置精度及びセルギャップ精度を向上させ、製造歩留まりの向上等が可能な基板貼り合わせ装置を提供する。 - 特許庁 - At this time, the alignment accuracy measuring instrument 3 accesses to the data base 2, and measures and evaluates the alignment accuracy by tempering it with the basic data specific to the corresponding aligner, and transmits specific correction data, on which the accuracy corrections can be reflected according to the specific aligner 11 or 12 or 13.
その際データベース２にアクセスし、対応する露光装置の固有の基礎データを加味して、重ね合わせ精度の測定、評価を行い、所定の露光装置１１または１２または１３に応じて精度補正が反映されるような固有の補正データを送出する。 - 特許庁 - To provide a device for manufacturing an alignment layer in which the polarization direction of linearly polarized light irradiated on a photo-alignment material layer can be set with high accuracy, and to provide a liquid crystal display device and a method for manufacturing an alignment layer.
光配向材料層に照射する直線偏光の偏光方向を高い精度で設定可能な配向膜の製造装置及び液晶表示装置並びに配向膜の製造方法を提供すること。 - 特許庁 - To improve accuracy in printing position of an alignment film (patterning) and to improve uniformity in the thickness thereof in a liquid crystal display device in which the alignment film is printed by an alignment film printing system which is noncontact with respect to a substrate.
基板に対して非接触な配向膜印刷方式によって配向膜を印刷する液晶表示装置における、配向膜の印刷位置（パターニング）精度を良くし、さらにその膜厚の均一性を向上させる。 - 特許庁 - To provide a method and an apparatus for alignment wherein an alignment mark can be detected stably even when an alignment treatment is performed by alignment light having a plurality of wavelengths, a generated chromatic aberration is corrected satisfactorily and the alignment treatment can be performed with good accuracy, and to provide a method and an apparatus for exposure.
複数の波長を有するアライメント光によってアライメント処理を行った際にも、アライメントマークを安定して検出することができるとともに、発生する色収差を良好に補正して精度良くアライメント処理を行うことができるアライメント方法及びアライメント装置、露光方法及び露光装置を提供する。 - 特許庁 - The alignment accuracy of a mask is enhanced using an oxide film provided on a source-drain region when the mask of an FET is aligned.
ＦＥＴのマスク合わせに、ソースドレイン領域上に設けた酸化膜を用い、マスク合わせ精度を向上する。 - 特許庁 - To provide an optical transmission substrate, a composite optical transmission substrate and an optical module capable of performing alignment with high accuracy.
高精度の位置合わせが可能な光伝送基板、複合光伝送基板および光モジュールを提供する。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a sharpening element capable of increasing the alignment accuracy between a microlens and an aperture.
マイクロレンズとアパーチャとの位置合わせ精度を高めることができる鮮鋭化素子の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To enable alignment of paper and images with accuracy in the direction crossing the conveying direction of the paper.
用紙の搬送方向と直交する方向で、用紙と画像の位置合わせを精度良く行えるようにする。 - 特許庁 - To obtain the structure of an alignment reference hole for enhancing the assembling accuracy of an ink jet print head.
本発明は、インクジェットプリントヘッドの組立精度を向上させるための位置合せ用基準孔の構造に関する。 - 特許庁 - To provide a semiconductor device which can suppress reduction of a detection accuracy of light reflected from an alignment mark.
アライメントマークからの反射光の検出精度が低下することを抑制できる半導体装置を提供する。 - 特許庁 - The guide surface is a conical surface tilted in two-dimensionally, providing a high guiding effect for high alignment accuracy.
案内面は、２次元的に傾斜する円錐面であり、その案内誘導効果が大きく、位置決め精度が高い。 - 特許庁 - The alignment accuracy of a mask is enhanced by using an oxide film formed on a source-drain region for aligning the mask of the FET.
ＦＥＴのマスク合わせに、ソースドレイン領域上に設けた酸化膜を用い、マスク合わせ精度を向上する。 - 特許庁 - To provide an alignment system for a lithography projecting device, with the accuracy of positioning and/or robust properties improved.
位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。 - 特許庁 - To provide a structure that enables alignment of fine junction objects with one another using a simple configuration with high accuracy.
簡易な構成で精度よく微細な接合対象物同士を位置あわせができる構造体を提供する。 - 特許庁 - To form a thin-film multi-layered substrate which can be made high in accuracy and reliability by preventing erroneous positional recognition of an alignment mark.
アライメントマークの位置誤認を防止して、高精度で信頼性の高い薄膜多層基板を形成する。 - 特許庁 - The CD wafer and the DVD wafer are aligned with each other with high accuracy by alignment marks provided for the respective wafers.
ＣＤ用ウェハとＤＶＤ用ウェハは、各々に設けたアラインメントマークにより高精度に位置合わせを行う。 - 特許庁 - To highly accurately evaluate alignment accuracy in a processing device to apply predetermined processing to an object to be processed.
処理対象物に所定の処理を施す処理装置におけるアラインメントの精度を高精度に評価する。 - 特許庁 - To provide a positioning system for a lithographic projector in which accuracy of alignment and/or hardness is improved.
位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。 - 特許庁 - To provide an alignment method which has a high-speed processing capability with no increase in equipment cost and can achieve a very high alignment accuracy.
装置コストの上昇を伴わずに高速処理能力を確保しつつ、かつ、高精度なアライメント精度を達成することのできるアライメント方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a mark and a method for alignment for pattern exposure and an aligner where the alignment accuracy is enhanced at low cost, without deterioration in the space efficiency in mark placement.
マーク配置スペース効率劣化なく、安価に位置合わせ精度を向上させるパターン露光用位置合わせマーク及び位置合わせ方法及び露光装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a semiconductor storage device, a semiconductor wafer and a semiconductor storage device manufacturing method, which make alignment marks be easily identifiable, and thereby enhancing mask alignment accuracy.
合わせマークを認識し易くし、マスク合わせ精度を向上する半導体記憶装置、半導体ウェーハ及び半導体記憶装置の製造方法を提供する。 - 特許庁 - Since a series of alignment sequence and carrying sequence can be operated in parallel to some extent, total throughput can be enhanced while ensuring alignment accuracy.
このように一連の露光シークエンスと搬送シークエンスをある程度並行に動作させることができるため、露光精度を確保しつつ露光装置全体のスループットを向上できる。 - 特許庁 - To provide a sheet delivering device capable of improving alignment of a sheet delivered to a housing means and obtaining best alignment accuracy constantly.
この発明は、収納手段に排出されたシートの整合性を向上させ、常に最良の揃え精度を得ることができるシ−ト排出装置を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a method for manufacturing a liquid crystal display device in which the accuracy of substrate alignment can be relatively easily enhanced by improving an alignment mark.
アライメントマークを改良することで、比較的簡単に基板の位置合わせの精度を向上させることができる液晶表示装置の製造方法を提供することである。 - 特許庁 - To provide a three-dimensional shape measuring system, a three-dimensional shape measuring instrument, a solid measuring object and an alignment method, allowing easy and at high accuracy alignment.
容易に且つ高精度に位置合わせすることが可能な３次元形状測定システム、３次元形状測定装置、立体測定物、及び位置合わせ方法を提供する。 - 特許庁 - To prevent positioning accuracy of alignment from degrading when a front board and a back board are stacked on each other by using alignment markers respectively formed on both the boards.
前面基板と背面基板にそれぞれ形成したアライメントマーカーを用いて両基板を重ね合わせ接着する際に、アライメントの位置合わせ精度が低下するのを防止する。 - 特許庁
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