The post-CMP cleaning liquid composition contains one or two or more kinds of fat polycarbon acid and one or two or more kinds selected out of a group composed of glyoxylic acid, ascorbic acid, glucose, fructose, lactose and mannose and its pH is <3.0. 脂肪族ポリカルボン酸類を1種または2種以上とグリオキシル酸、アスコルビン酸、グルコース、フルクトース、ラクトースおよびマンノースからなる群から選択される1種または2種以上とを含有し、pHが3.0未満であることを特徴とする、CMP後洗浄液組成物。 - 特許庁