To provide a vacuum system, in which a desired exhaust speed can be acquired without employing pumps allowing a high exhaust speed, the inside diameter of piping can be reduced, and the consumption power of calefaction means for piping heating is curbed. 大きな排気速度のポンプを用いることなく所望の排気速度を得ることができると共に、配管の内径を小さくすることができ、配管を加熱する加熱手段の消費電力を抑制することができる真空装置を提供する。 - 特許庁