This holding member for the object to be polished is formed by impregnating epoxy resin (b) composed of bisphenol epoxy resin of 75 to 30 wt.% and novolak epoxy resin of 25 to 70 wt.% in an organic fiber basic material (a) and laminating, heating, and pressurizing it. 本発明の被研磨物保持材は、有機繊維基材(a)に、ビスフェノール型エポキシ樹脂75〜30重量%及びノボラック型エポキシ樹脂25〜70重量%からなるエポキシ樹脂(b)を含浸し、これを積層し加熱加圧してなることを特徴とする。 - 特許庁
The two-pack curable polyurethane resin composition is composed of a base resin containing (A) a urethane prepolymer, (B) a compound having at least one each of isocyanate group, isocyanurate group and a hydrolyzable silicon-containing group, and a curing agent containing (C) a polyol compound. ウレタンプレポリマー(A)と、イソシアネート基、イソシアヌレート基および加水分解性ケイ素含有基をそれぞれ少なくとも1つ有する化合物(B)とを含有する主剤と、ポリオール化合物(C)を含有する硬化剤とからなる2液硬化型ポリウレタン樹脂組成物。 - 特許庁
The rubber composition is produced by blending 1-100 pts.mass of an aromatic vinyl polymer having a phenolic hydroxyl group and/or an alkoxy group with 100 pts.mass of a rubber component composed of at least one of diene polymers. 本発明のゴム組成物は、少なくとも一種のジエン系ポリマーからなるゴム成分100質量部に対し、フェノール性水酸基および/またはアルコキシ基を有する芳香族ビニル重合体を1〜100質量部の量で配合してなることを特徴とする。 - 特許庁
The sliding contact member composed of a tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinylether copolymer as a lubricant, silver, and inevitable impurities contains a contact material containing the lubricant by 0.3 to 3.0 mass%, and its relative density is 80% or more. 潤滑剤としてのテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体と、銀及び不可避不純物とを有し、該潤滑剤を0.3〜3.0質量%含有する接点材料からなり、相対密度が80%以上であることを特徴とする摺動接点部材とした。 - 特許庁
The electrophotographic toner characteristically uses silica of 800 to 1,000 m^2/g in specific surface area by a BET method and 400 to 500 nm in primary particle diameter in the toner base material composed of at least a resin and a colorant. 少なくとも樹脂と着色剤からなるトナー母体に対して、BET法による比表面積が800〜1000m^2/gであり、かつ一次粒子径が100〜500nmであるシリカを外添剤として用いることを特徴とする電子写真用トナー。 - 特許庁
The resin composition for sealing a light-emitting device comprises a silsesquioxane resin containing two or more oxetanyl groups, a cationic polymerization initiator, and organic group-modified metal oxide fine particles composed of metal oxide fine particles whose surface is modified with an organic group. 二つ以上のオキセタニル基を含有するシルセスキオキサン樹脂と、カチオン重合開始剤と、有機基で表面修飾された金属酸化物微粒子からなる有機基修飾金属酸化物微粒子とを含有する発光素子封止用樹脂組成物とする。 - 特許庁
The electron emitter 2 is so structured that a plurality of bundles 6 composed of a number of carbon nanotubes overlapped are arranged in dispersion on a substrate 4, and tip sides (tips of the bundle) 6a of the carbon nanotubes constituting the bundle 6 are gathered in the same direction. 本電子エミッタ2は、基板4上にカーボンナノチューブが多数重なり合って構成されるバンドル6が複数分散配置され、このバンドル6を構成するカーボンナノチューブそれぞれの先端側(バンドル先端)6aが同じ方向を向いて集合している構成を備える。 - 特許庁
Therefore, the shift register circuit composed of the latch circuit LAT functions as a low voltage interface and also the clock signal CK input is interrupted when the latch circuit LAT is inactive, and load reduction in the clock signal line and decrease in power consumption are achieved. したがって、ラッチ回路LATで構成されたシフトレジスタ回路は低電圧インターフェースとして機能すると共に、ラッチ回路LATが非アクティブである場合にクロック信号ckの入力が停止されて、クロック信号線の負荷軽減および消費電力の低下が図られる。 - 特許庁
The crosslinked polyester containing a π-n conjugated bond composed of a carbon-carbon double bond and two carbon-oxygen double bonds is obtained by making at least a part of the polyester form an intramolecular or intermolecular carbon-carbon double bond. このポリエステルの少なくとも一部が、分子内及び/又は分子間に炭素間二重結合を形成することによって、炭素−炭素二重結合、及び、2つの炭素−酸素二重結合からなるπ−n性共役結合を有する架橋ポリエステルが得られる。 - 特許庁
This sludge fermented fertilizer is formed by compounding putrefactive organic materials and seashell incineration ash to a raw material mixture composed of bark compost, sludge, livestock night soil and soil conditioners at need and further adding microorganisms thereto and subjecting the mixture to fermentation and maturation. バーク堆肥、汚泥、畜産下肥、及び土壌改良材を必須成分とする原材料混合物に対し、必要に応じて、腐敗性の有機物質や貝殻焼却灰を配合し、さらに微生物を加え、発酵、熟成させた汚泥発酵肥料である。 - 特許庁
The surface acoustic wave device comprises a single crystal substrate 1, a buffer layer 2 composed of a crystal film formed on the single crystal substrate 1, and a piezoelectric thin film 3 having crystal structure of a trigonal or hexagonal system formed on the buffer layer 2. 単結晶基板1と、この単結晶基板1上に形成された結晶膜からなるバッファー層2と、バッファー層2上に形成された六方晶系または三方晶系の結晶構造を有する圧電薄膜3とを備えてなる表面弾性波素子。 - 特許庁
The method is for producing a crystal-oriented ceramic composed of a polycrystal comprising an isotropic perovskite-type compound as a main phase, wherein a specific crystal face A of its crystal grains is oriented, by performing the steps of preparation, mixing, molding, and burning. 準備工程、混合工程、成形工程、及び焼成工程を行うことにより、等方性ペロブスカイト型化合物を主相とする多結晶体からなり、その結晶粒の特定の結晶面Aが配向する結晶配向セラミックスを製造する方法である。 - 特許庁
The ceramic-metal composite material having the metal in the pores of the porous ceramic composed of silicon nitride is characterized in that crystal particles of the silicon nitride at the boundary surfaces of the porous ceramic and the metal are bonded to each other via the metal. 窒化珪素からなる多孔質セラミックスの気孔内に金属を有するセラミックス−金属複合体であって、前記多孔質セラミックスと金属との境界面における窒化珪素の結晶粒子同士が前記金属を介して結合されていることを特徴とする。 - 特許庁
This sheet-like chemical cell is characterized by disposing a plurality of unit cells each composed of a plurality of anode electrodes on one surface of an electrolyte film, and a plurality of cathode electrodes formed on the other surface thereof so as to form couples with the anode electrodes. 本発明は、電解質膜の一方の面に複数のアノード電極と、他方の面に前記アノード電極と対を成すように形成された複数のカソード電極とから構成される単電池を複数配置したことを特徴とするシート状化学電池にある。 - 特許庁
The hair treatment composition includes (A) a fatty acid ester composed of a fatty acid and a flavonoid, and (B) at least one kind of silicones having ≥100,000 mm^2/s dynamic viscosity at 25°C, and selected from dimethicone, amino-modified silicones and dimethiconol. 本発明の毛髪処理剤組成物は、脂肪酸とフラボノイドからなる(A)脂肪酸エステル、並びに25℃における動粘度が10万mm^2/s以上である、ジメチコン、アミノ変性シリコーン、及びジメチコノールから選ばれる少なくとも一種である(B)シリコーンを含有する。 - 特許庁
An electret device 10 includes a silicon substrate 1 having a groove 1b on the main surface 1a thereof and an electret film 2 composed of a silicon oxide film so formed on the main surface 1a of the silicon substrate 1 as to cover the inner surface of the groove 1b. このエレクトレット素子10は、主表面1aに溝部1bが形成されたシリコン基板1と、シリコン基板1の主表面1a上に、溝部1bの内表面を覆うように形成されたシリコン酸化膜からなるエレクトレット膜2とを備えている。 - 特許庁
This multilayer pipe is composed of at least three layers, wherein at least two of the layers are based on a thermoplastic polyester, one layer is harder than the other layers, and at least one of the other layers contains a thermoplastic polyester elastomer. 多層パイプが、少なくとも3つの層を備えており、それらの層のうち少なくとも2つの層が熱可塑性ポリエステルを基礎としており、ひとつの層が残りの層より硬く、残りの層のうち少なくともひとつの層が、熱可塑性ポリエステルエラストマーを含有する。 - 特許庁
The furred artificial leather is a furred nonwoven fabric composed of short fibers having a single fiber fineness of 0.001-0.3 de and a polyurethane resin and holding pigment particles randomly fixed to the surface of the furred nonwoven fabric with a binder. 単繊維繊度が0.001デニール以上0.3デニール未満の短繊維とポリウレタン樹脂で構成された有毛不織布において、該有毛不織布の表面に無作為なランダム状態でバインダーで固着された顔料が存在することを特徴とする有毛人工皮革。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a polyarylene stretched film excellent in mechanical strength, elastic modulus and dimensional stability at the time of heating, in obtaining a film from a composition composed of a polyarylene having a sulfonic acid group and an organic solvent by a casting method. スルホン酸基を有するポリアリーレンと有機溶媒とを含む組成物から流延法によってフィルムを得るに際し、得られるフィルムの機械的強度、弾性率および加熱時の寸法安定性に優れたポリアリーレン系延伸フィルムの製造方法を提供すること。 - 特許庁
To cut a hard sintered rare earth magnet alloy having a metallic structure for surrounding a very hard ferromagnetic crystal grain composed of a crystal of a relatively large intermetallic compound by a grain boundary phase into a small part having a smooth surface with an excellent yield. 比較的大きな金属間化合物の結晶からなる非常に硬質な強磁性結晶粒が粒界相で囲われている金属組織を有した硬質な焼結希土類磁石合金を歩留りよく且つ滑らかな表面をもつ小さな部品に切断する。 - 特許庁
To provide a method for manufacturing a polyarylene stretched film excellent in mechanical strength, elastic modulus and dimensional stability at the time of heating, in obtaining a film from a composition composed of a polyarylene having a sulfonic acid group and an organic solvent by a casting method. スルホン酸基を有するポリアリーレンと有機溶媒とを含む組成物から流延法によってフィルムを得るに際し、得られるフィルムの機械的強度、弾性率、および加熱時の寸法安定性に優れたポリアリーレン系延伸フィルムの製造方法を提供すること。 - 特許庁
This epoxy resin composition is essentially composed of (A) the epoxy resin, (B) a phenol resin, and (C) an addition-reaction product of triphenylphosphine with a quinone compound having at least one substituent, and the electronic device equipped with the elements sealed with this epoxy resin composition, is provided. (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂及び(C)トリフェニルホスフィンと少なくとも一つの置換基を有するキノン化合物との付加反応物を必須成分とするエポキシ樹脂組成物、及びこのエポキシ樹脂組成物により封止された素子を備えた電子部品装置。 - 特許庁
The pressure-sensitive adhesive tape or sheet for the winding fixture of the lithium ion battery element has a pressure-sensitive adhesive layer composed of a soluble region dissolving in an electrolyte solvent and an insoluble region not dissolving in the electrolyte solvent on one surface of a substrate. 本発明のリチウムイオン電池素子巻止用粘着テープ又はシートは、基材の片面に、電解液溶媒により溶解する溶解性領域と電解液溶媒に溶解しない非溶解性領域とからなる粘着剤層を有することを特徴とする。 - 特許庁
The cylindrical magnet which is formed by molding a mixture mainly composed of ferromagnetic powder and a resin binder has the cylindrical magnet imbedded with a plurality of numbers of magnet pieces that are repulsed magnetically from each other in an indention in an outer periphery section. 強磁性体粉末と樹脂バインダーを主体とする混合物を成形してなる円筒状マグネットにおいて、該円筒状マグネットが、外周部の凹部に互いに磁気的に反発する複数個のマグネットピースを埋設しているマグネットローラにより上記課題が解決できる。 - 特許庁
The acrylic polymer A is composed of a monomer composition containing 50% by weight or more of an acrylic acid ester such that an alkyl group has 6 to 10 carbon atoms and 1% by weight to 30% by weight of a hydroxyl group-containing monomer and containing no carboxyl group-containing monomer. アクリルポリマーA:アルキル基の炭素数が6〜10のアクリル酸アルキルエステル50重量%以上と、ヒドロキシル基含有モノマー1重量%〜30重量%を含み且つカルボキシル基含有モノマーを含まないモノマー組成物によるアクリル系ポリマー - 特許庁
These timelines are composed of an ordered sequence of video "fingerprints" or "signatures" of video content that exploit the spatial characteristics in frame images of the video and reliably identify position even if the video has been modified, such as with insertions or deletions. これらのタイムラインは、ビデオコンテンツのビデオ「フィンガプリント」または「シグネチャ」の順序付きシーケンスから構成され、これらは、ビデオのフレームイメージにおける空間特性を活用し、ビデオが挿入または削除などにより修正されている場合でも、位置を信頼可能に識別する。 - 特許庁
The optical part molding material is composed of an aromatic polycarbonate resin or an aromatic polycarbonate copolymer resin which has a repeating unit to be derived from the residue of 2,2-bis(4-hydroxyphenyl) adamantane or its derivative, and the optical part is obtained by molding the material. 2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)アダマンタンまたはその誘導体の残基に由来する繰返し単位を有する芳香族ポリカーボネート樹脂あるいは芳香族ポリカーボネート共重合樹脂からなる光学部品成形材料と、その材料を成形してなる光学部品。 - 特許庁
To provide a polymer laminate composed of a blend of two kinds of mutually compatible crystalline polymers wherein the crystal lamella of one crystalline polymer and the crystal lamella of the other crystalline polymer are alternately arranged in the drawing direction and provide a method for producing the laminate. 相溶する2種類の結晶性ポリマーブレンドからなり、一方の結晶性高分子の結晶ラメラと他方の結晶性高分子の結晶ラメラが交互にかつ延伸方向に配列されている高分子積層体とその製造方法を提供する。 - 特許庁
In this flat panel display system composed of a rectangular subelement of RGB, character images are inputted, with size converted, then gradated by a subpixel unit corresponding to the subelement of the display system, to convert pixel unit coordinates into rectangular RGB element coordinates. RGBの矩形サブエレメントで構成されるプラットパネル型表示装置において、文字画像を入力し、サイズ変換を行った後、表示装置のサブエレメントに対応するサブピクセル単位で階調化し、ピクセル単位座標を矩形RGBエレメント座標に変換する。 - 特許庁
This oligonucleotide is useful for detecting HIV-1 genomic RNA through its binding to a specific site of HIV-1, and composed of at least consecutive 10 bases in either one of specific 14 sequences obtained by synthesis. HIV−1 ゲノムRNAを検出するために有用なオリゴヌクレオチドであって、HIV−1の特定部位に結合可能である、合成によって得られた特定の14種類のいずれかの配列中の少なくとも連続した10塩基以上からなるオリゴヌクレオチド。 - 特許庁
This is an electrode material containing carbon, an ion exchange resin, and a fluororesin, and this is an electrode for a solid polymer fuel cell and the solid polymer fuel cell using such an electrode in which 60 to 90 mass% of the carbon is composed of carbon fiber. 炭素、イオン交換樹脂、及び含フッ素樹脂を含む電極材料であって、該炭素の60〜90質量%はカーボンファイバーからなることを特徴とする固体高分子型燃料電池用電極及びかかる電極を用いた固体高分子型燃料電池。 - 特許庁
The discharge electrodes 2a and 2b are composed of discharge electrodes connected to the output terminals and discharge electrodes which are held at a ground potential without being connected to the terminals and having the floating potential other than the discharge electrodes connected to the output terminals. 複数の放電電極2a,2bは、出力される端子に接続された放電電極と、前記出力される端子に接続された前記放電電極以外の、前記浮遊電位となる端子に接続されずに接地電位となる放電電極と、から構成される。 - 特許庁
In the tube composed of Fe-Mn-Si base shape memory alloy, the shape memory alloy contains at least carbide or nitride of either one of V or Ti and the alloy tube is formed with centrifugal casting. Fe−Mn−Si系形状記憶合金からなる管であって、前記形状記憶合金が、少なくとも、VまたはTiのいずれか一方の炭化物または窒化物を含有するようにし、遠心鋳造により、前記合金管を形成するようにしたのである。 - 特許庁
The surface treating agent composed of two components i.e., starch and a copolymer synthesized from monomer at least containing an ethylenic unsaturated carboxylic acid and a (meth)acrylic ester of a 1-18C alcohol is preferably applied. 表面処理剤として、澱粉類とアルコール成分の炭素数が1〜18である(メタ)アクリル酸エステル及びエチレン性不飽和カルボン酸を少なくとも含有するモノマーから合成された共重合体の2成分を主体とする表面処理剤を使用することが好ましい。 - 特許庁
This weeding method comprises combining application of a herbicide composed of one or more kinds of compounds as active ingredients selected from oxyfluorfen, butafenacil, azafendin, flumioxazin, norflurazon, propyzamide, isoxaben, diuron, terbuthylazine, terbumeton and flazasulfuron with covering the surface of soil with a vegetative solid material. オキシフルオルフェン(oxyfluorfen)、ブタフェナシル(butafenacil)、アザフェニジン(azafendin)、フルミオキサジン(flumioxazin)、ノルフルラゾン(norflurazon)、プロピザミド(propyzamide)、イソキサベン(isoxaben)、ジウロン(diuron)、テルブチラジン(terbuthylazine)、テルブメトン(terbumeton)およびフラザスルフロン(flazasulfuron)から選ばれる1種以上の化合物を有効成分とする除草剤の散布と、植物性固形物の土壌表面の覆設とを組み合わせる。 - 特許庁
The ink jet recording ink composition is composed at least of a pigment, a water-soluble organic solvent, a water-soluble resin and water. 少なくとも顔料、水溶性有機溶媒、水溶性樹脂及び水とからなる、インクジェット記録用インク組成物であって、顔料は平均粒子径が異なる顔料Aと顔料Bの混合物であり、その平均粒子径をそれぞれd_A及びd_Bとするとき、d_A≦1/2d_Bである。 - 特許庁
The catalyst for selective oxidation of carbon monoxide consists of a meso-porous material composed of fine pores and fine pore walls of a thickness of 0.1-1 nm partitioning the individual pores and a nano-particle platinum catalyst supported in the pores. 細孔とこの細孔を区切る0.1nm〜1nmの厚さを持つ細孔壁とを備えたメソ多孔体と、前記細孔内に備えられたナノ粒子状の白金触媒とを備えたことを特徴とする一酸化炭素選択酸化触媒によって達成される。 - 特許庁
This inkjet recording medium is characterized by containing a polymer binder which includes nonporous polymer particles composed of a core/shell structure having a polymer core covered with a shell of a water-soluble polymer, and the polymer binder is contained in a void-type ink receiving layer. 水溶性ポリマーのシェルで覆われた高分子コアを有するコア/シェル構造からなる非多孔質高分子粒子を含む高分子バインダーを含有し、かつ該高分子バインダーが空隙型のインク受容層に含有されることを特徴とするインクジェット記録媒体。 - 特許庁
A pickle producing container 100 corresponding to the contained water removing container is composed of a bottomed cylindrical holding body 110 made of a transparent acrylic material, and a lid 120 for pushing pickle materials P held in the holding body 110. 含有水分除去容器に相当する漬物製造容器100は、透明なアクリル材からなる有底筒状の収容体110と、収容体110内に収容された漬物の材料P等を押圧するための蓋体120とから構成されている。 - 特許庁
According to the on/off state of the inverter output switch 50, the voltage waveform of an AC power supply supplied to the accessory power outlet 20 which is outputted from the inverter 16 is selectively switched over between a sine wave AC and pseudo sine wave AC composed of rectangular waves. そして、インバータ出力切替スイッチ50のオン・オフ状態に応じて、インバータ16から出力されアクセサリコンセント20へ供給される交流電源の電圧波形を正弦波交流と矩形波からなる擬似正弦波交流とで選択的に切り替える。 - 特許庁
The manufacturing method of a polypropylene resin film comprises a step of forming an original film 4a from a polypropylene resin 4, and a step of superposing the original film 4a and a protection film 12 composed of a polyester resin or a polyolefin resin, and rolling up the resultant. 本発明のポリプロピレン系樹脂フィルムの製造方法は、ポリプロピレン系樹脂4から原反フィルム4aを形成する工程と、原反フィルム4aを、ポリエステル系樹脂又はポリオレフィン系樹脂からなる保護フィルム12と重ねて巻き取る工程と、を備える。 - 特許庁
To make a diacylglycerol composed by adding an emulsifier contain effective fat-soluble and water-soluble components in a crude drug, and to provide a composition with crude drug component which enhances absorbability for the fat-soluble component to the small intestine and processes thereof. 乳化剤を添加して成るジアシルグリセロールに、生薬に含有される有効な脂溶性成分と水溶性成分を含有させることと、脂溶性成分の小腸への吸収を高める生薬成分含有組成物とその製造方法を目的とする。 - 特許庁
This electrolytic coloring agent is composed of an alkali bath of pH ≥8, particularly of an alkali bath of pH ≥8 containing one or more kinds selected from organic salt and the salt thereof, inorganic acid and the salt thereof, oxo acid and the salt thereof, iodine, iodide, bromine and bromide. 該電解発色剤はpH8以上のアルカリ浴からなるもので、特に、有機酸及びその塩、無機酸及びその塩、オキソ酸及びその塩、ヨウ素、ヨウ化物、臭素、臭化物から選ばれる1種以上を含有するpH8以上のアルカリ浴からなるものである。 - 特許庁
This system is provided with parallel plural solar battery power generation units 5 composed of a solar battery power generating part 2 constituted by serially connecting plural solar battery panels 1 and an inverter 4 for converting output power from this solar battery power generating part 2 to AC. 複数の太陽電池パネル1を直列接続してなる太陽電池発電部2と、この太陽電池発電部2からの出力電力を交流に変換するインバータ4とで構成される太陽電池発電ユニット5を複数並列に備えている。 - 特許庁
A carrier component is composed from the output terminal of the semiconductor amplification element with the oscillation frequency of the high-frequency oscillation circuit as the local oscillation signal and a signal frequency-converted with the intermediate frequency band signal as the sideband component is output. 半導体増幅素子の出力端子から該高周波発信回路の発振周波数を局部発振信号として搬送波成分を構成し、該中間周波数帯信号をその側波帯成分として周波数変換された信号を出力する。 - 特許庁
Moreover, the images captured continuously are composed such that the content of the composition is switched between when bright and moving fireworks etc. are imaged and when a person is imaged with the bright and moving fireworks etc. as the background. また、連続して撮影された複数の画像の合成が行われるが、その合成処理の内容が、例えば、明るく動きのある花火などを撮影している場合と、明るく動きのある花火などを背景として人物を撮影している場合とで切り替えられる。 - 特許庁
This method for producing the optically active 3-phosphoglyceric acid or its salt is composed of phosphorylating the hydroxyl group of optically active serine or its salt as a raw material and then treating the amino group with a diazotizing agent under an acidic condition. 本発明は、光学活性セリンまたはその塩を原料に用いて、ヒドロキシ基をリン酸化し、ついでアミノ基を酸性条件下、ジアゾ化剤で処理することを特徴とする、光学活性ホスホグリセリン酸またはその塩の製造方法を提供するものである。 - 特許庁
The cDNA of the new gene hOCT2-A is a splicing variant containing 1169 base pairs inserted in the hOCT2, and the cDNA of the new organic cation transporter hOCT2-A encodes a protein composed of 483 amino acid residues. この新規遺伝子であるhOCT2−AのcDNAは、hOCT2に1169塩基対が挿入されたスプライシングバリアントであり、新規有機カチオントランスポーターhOCT2−AのcDNAは、483個のアミノ酸残基からなる蛋白質をコードしている。 - 特許庁
To provide a surface treated basic magnesium carbonate controlled to exhibit neutral pH to utilize the characteristics of the tubular aggregated particle of basic magnesium carbonate composed of a specific and novel shaped flake like fine crystal and a method of manufacturing the same. 独特かつ新規な形状の薄片状微細結晶からなる管状凝集粒子の塩基性炭酸マグネシウムの特性を活用するために、中性のpH値を示すようにした表面処理塩基性炭酸マグネシウム及びその製造方法の提供。 - 特許庁
The method for manufacturing a semiconductor is provided for etching a non silicon-containing organic film 35, of a combined film composed of a silicon-containing organic film 34 and the non silicon-containing organic film 35, by using mixing gas plasma of nitrogen and hydrogen. 本発明の半導体装置の製造方法は、シリコン含有有機膜(34)とシリコン非含有有機膜(35)から構成される複合膜に対して、窒素と水素との混合系ガスプラズマを用いてシリコン非含有有機膜(35)をエッチングすることを特徴とする。 - 特許庁