In the process for forming a microlens; a lens material film 32 supported by a bump BG is melted thermally, and a part of the lens material film 32 is fed to a trench DH so that the shape of the lens material film 32 supported by a bump BG is varied, thus producing a microlens MS. マイクロレンズ形成工程は、熱により隆起部BGに支えられるレンズ材料膜32を溶かし、溝部DHにレンズ材料膜32の一部を流し込むことで、隆起部BGに支えられるレンズ材料膜32の形状を変化させ、マイクロレンズMSを生じさせている。 - 特許庁