The methylsilane purified with the adsorption unit 22 is fed to a receiver unit 35 which is kept at -190°C in a stainless steel Dewarvessel 33. レシーバユニット35は、ステンレススチールデュアー瓶33内で、-190℃に保持されている。 - 特許庁
The adsorption unit 22 is kept at -40°C in a stainless steel Dewarvessel 24. 吸着ユニット22で精製されたメチルシランをレシーバユニット35に送る。 - 特許庁
For example, a pressure vessel 60 including a cryogenic liquid coolant such as liquid nitrogen, is at least partially arranged inside the dewar bottle 40 for cooling a coolant. 例えば液体窒素等の極低温液体冷却剤を含む圧力容器60は、該冷却剤を冷却するためデュアー瓶40の内部に少なくとも部分的に配置されている。 - 特許庁