「Diffusing」を含む例文一覧(3977)
＜前へ 1 2 .... 60 61 62 63 64 65 66 67 68 .... 79 80 次へ＞- The optical transmission apparatus includes a light receiving element 2 for receiving light and an optical waveguide 6 having a core 3, a cladding 4 adjacent to the core 3, and a light-diffusing recessed part 5 formed in the cladding part for emitting light toward the light receiving element 2.
本光伝送装置は、光を受光する受光素子２と、コア３、コア３に隣接するクラッド４、および受光素子２に向けて光を出射するクラッドの部分に形成された光を拡散させる窪み部５を有する光導波路６とを備える。 - 特許庁 - Contact with wiring layer for the entire part of source drain diffusing layer region is enabled by crossing a gate electrode without short-circuit with the gate electrode, by utilizing that an insulating film which is mainly formed of Al as the structural atoms has extremely large selection ratio of etching with an Si oxide film.
Ａｌを主たる構成原子とする絶縁膜がＳｉ酸化膜とのエッチング選択比が極めて大きいことを利用し、ゲート電極を跨ぎゲート電極との短絡なしにソース・ドレイン拡散層全領域にわたる配線層とのコンタクトを可能とした。 - 特許庁 - (2) A liquid material feed vessel is used when liquid material is fed to the processed part of the work for processing and equipped with an ultrasonic wave generating jig which generates ultrasonic waves capable of diffusing fine particles contained in the liquid material.
加工対象品の加工処理部分に液状物質を供給して加工を行う際に用いる液状物質供給用容器であって、該容器は、該容器内の液状物質中の微粒子を分散させ得る超音波を与える超音波発生治具を備える。 - 特許庁 - To provide an attachment for a sand blast device at low cost, which is mounted with a mask on the device without changes in the structure of the sand blast device, thereby diffusing a jet of abrasive to avoid collisions with a circulating current of abrasive, and forming a wide marking without difference in the density throughout the marking.
サンドブラスト装置の構造を変更せず、装置にマスクと共に装着するだけで、研磨材の噴流を拡散させ、研磨材の環流との衝突を回避し、部位による濃淡差のない、広い刻印を形成できるアタッチメントを低コストで提供する。 - 特許庁 - This method of diffusing antimony, which makes antimony diffuse through a vapor phase into silicon single-crystal wafers, is constituted in such a way that after rinsing the surfaces of the silicon single-crystal wafers with hydrofluoric acid for removing an oxide film, the silicon single-crystal wafers are inserted into a thermal diffusion furnace to conduct the diffusion process of antimony.
シリコン単結晶ウェーハにアンチモンを気相拡散するアンチモン拡散方法において、シリコン単結晶ウェーハの表面をフッ酸で洗浄して酸化膜を除去した後、熱拡散炉にシリコン単結晶ウェーハを投入し、アンチモンの拡散処理を行う。 - 特許庁 - In the light diffusing plate 21, at least either face in a light incidence surface 21A and a light emission surface 21B lies in a specular state in which the center line average roughness (Ra(maxl)) measured in a direction at which the obtained value reaches the maximum is 0.0001 to 0.1 μm.
光拡散板２１において、光入射面２１Ａおよび光出射面２１Ｂの少なくともいずれかの面が、得られた値が最大となる方向に測定した中心線平均粗さ（Ｒａ（max1））が０．０００１μｍ〜０．１μｍの鏡面状態である。 - 特許庁 - This manufacturing method comprises the steps of: forming an oxide film on at least one part of the surface of a steel member; and vacuum-carburizing the steel member while diffusing carbon which is produced when the carburization gas reduces the oxide film into the surface of the steel member.
鋼部材の表面の少なくとも一部に酸化皮膜を形成する酸化皮膜形成工程と、浸炭ガスが酸化皮膜を還元する際に生成する炭素を鋼部材の表面に拡散させることを伴う真空浸炭処理工程とを備える。 - 特許庁 - To provide a micro reactor system where sample solutions and buffer solution flow into a reaction tank section without diffusing or mixing inside a flow channel of a micro reactor, they are made to react with each other in completely the same state as in inflow, and coupling constant or dissociation constant can be measured.
サンプル溶液同士や緩衝液がマイクロリアクターの流路内部で、拡散混合すること無く反応槽部まで流れ込み、流入時と全く同じ状態で反応させ、結合定数や解離定数などの測定が可能であるマイクロリアクターシステムを提供する。 - 特許庁 - To provide a surface light-diffusing polyester film which has high thermal resistance, mechanical strength, thickness accuracy or the like, reconciles total light transmission with light diffusivity, suppresses the occurrence of heating curl originating in a bimetal structure and has excellent post-processibility as well.
優れた耐熱性、機械的強度および厚み精度等を有し、かつ全光線透過率と光拡散性を両立し、さらにバイメタル構造に由来する加熱カールの発生が抑制され、かつ、後加工性にも優れた表面光拡散性ポリエステルフィルムを提供する。 - 特許庁 - To provide a method for the excellent form stabilization treatment of textile products and a system therefor, capable of highly easily and inexpensively subjecting textile products, in particular package-like ones to uniform treatment through fully diffusing and infiltrating high-temperature steam up to the interior of such textile products.
非常に簡便、かつ安価に、繊維製品、特にパッケージ状の繊維製品の内部まで充分に高温水蒸気を拡散浸透させて均一処理を施すことのできる、優れた形態安定化処理方法およびそれに用いる装置を提供する。 - 特許庁 - By attaching a conical hot air diffusing plate 13 to a first cable 2c, hot air discharged from a gap between a cable insertion hole 11c and the first cable 2c is diffused, so that the hot air is prevented from directly blowing against a first connector 2d and a second connector 20a.
第１ケーブル２ｃに円錐状の熱気拡散板１３を装着することにより、ケーブル挿通穴１１ｃと第１ケーブル２ｃとの隙間から排出された熱気を拡散し、第１コネクタ２ｄ及び第２コネクタ２０ａに熱気が直接当たらないようにする。 - 特許庁 - A correlator 100 despreads pilot symbols of received IQ data in a back-diffusion unit 105 using a diffusing code for the compressed frame generated in a code generator 101, and gives a result to an N symbol adders 106a, 106b.
相関器１００は、逆拡散器１０５にて受信ＩＱデータのパイロットシンボルに対して、コード発生器１０１にて発生したコンプレストフレーム用の拡散コードを用いて逆拡散を行い、その逆拡散結果をＮシンボル加算器１０６ａ、１０６ｂに与える。 - 特許庁 - To enhance the flexibility of selection of a color during non-illumination, of a part where a light shielding layer covering a display member body surface doesn't exist, while uniformly illuminating with less variance of luminance by the existence of a light diffusing layer constituting a display member.
表示部材を構成する光拡散層の存在によって輝度ムラの少ない均一な照明を行いながら、前記表示部材本体表面を被覆する遮光層が存在していない部分の非照明時における色の選定の自由度を高める。 - 特許庁 - Since the front visual angle is secured by the light guide plate 220, diffusing sheets and prism sheets formed on the upper face of the light guide plate 220 are not used or only a minimum number of sheets are used to be able to obtain a desired performance.
このように、導光板２２０で正面視野角が確保されるようにすることにより、導光板２２０の上面に形成された拡散シート及びプリズムシートを使用せず、又は最少の個数のみ使用しても所望の性能を得ることができるようになる。 - 特許庁 - To provide a liquid crystal display device using an optical anisotropic layer and a light diffusing layer that contribute to improvement in the contrast depending on a viewing angle and color changes depending on a viewing angle, and to provide a liquid crystal display device improved in an antireflection property, particularly, visibility in a bright room.
視野角コントラスト及び視野角色味変化の改善に寄与する光学異方性層及び光拡散層を用いた液晶表示装置、更に反射防止性を高め、特に明室での視認性を向上できる液晶表示装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide a screen, capable of improving contrast of a projection image in bright room or the like by reducing an influence due to external light, and capable of properly reflecting and diffusing projection light having largely different incident angle into the front direction, and to provide a projection system.
外光による影響を低減し、明るい部屋等での投影画像のコントラストを改善できるとともに、入射角度の大きく異なる投射光を正面方向へ適切に反射・拡散させることができるスクリーン及び投射システムを提供すること。 - 特許庁 - The optical sheet 10 has: a sheet-like base layer 32; a light control layer 35 including a plurality of unit shape elements 38 arranged in a direction parallel to a sheet surface of the base layer 32; and a light diffusing layer 40 disposed between the base layer and the light control layer.
光学シート１０は、シート状の基部層３２と、基部層のシート面と平行な方向に並べられた複数の単位形状要素３８を有する光制御層３５と、基部層と光制御層との間に配置された光拡散層４０と、を有する。 - 特許庁 - The light guide plate is equipped with an incident face for incidence of light, a diffusion face to diffuse the light, and a light outgoing face to emit the light, and the diffusion face includes a plurality of diffusing surface dots of truncated cone shape or of spherical cone shape.
光を入射する入射面と、光を拡散する拡散面と、光を出射する出射面と、を有し、前記拡散面に円錐台状または球円錐状のドットである複数の拡散面ドットを有することを特徴とする導光板を提供する。 - 特許庁 - To provide a light diffusible sheet having a light diffusing layer having sufficient image definition with which white unsharpness caused by surface dispersion is hardly seen by suppressing the glaring phenomenon of a screen while maintaining an antidazzle characteristic, and to provide an optical element provided with the light diffusible sheet.
防眩性を維持しつつ、画面のギラツキ現象を抑え、かつ表面散乱による白ぼけが殆ど認めらず、像鮮明性のよい光拡散層を有する光拡散性シート、さらには当該光拡散性シートが設けられている光学素子を提供すること。 - 特許庁 - To provide an integrated circuit provided with an insulator for diffusing heat from a high output device while using high-K insulating materials and for dealing with the needs of a low dielectric constant and a low resistivity for a low output logic device while using low-K insulating materials at the same time.
高Ｋ絶縁材料を用いて高出力デバイスから熱を散逸させると同時に低Ｋ絶縁材料を用いて低出力論理デバイスの低誘電率、低抵抗率の必要に対処する絶縁体を含む集積回路を提供する。 - 特許庁 - To provide a display device in which miniaturization, cost reduction and reliability improvement can be achieved, when a linear decorative display element is formed by a combination of light-emitting elements for decorative display arranged at a prescribed arrangement pitch and light-diffusing substrates disposed on the light-emitting elements.
所定の配列ピッチで配置した装飾表示用の発光素子と該発光素子上に装備した光拡散板との組合せでライン状の装飾表示部を形成する場合に、小型化と、コスト低減並びに信頼性向上を実現できる表示装置を得る。 - 特許庁 - To eliminate anxiety of directly exposing human body to a volatile substance in diffusing the volatile substance such as a deodorant, an air refresher, a moss repellent, etc., by using an electric fan into a life space in obtaining a comfortable life space.
扇風機を利用して、消臭剤や芳香剤、害虫防除剤等の揮散性物質を生活空間に放散し、快適な生活空間を得るようにする際に、人が揮散性物質を直接浴びることがないようにして、人体への悪影響といった懸念をなくす。 - 特許庁 - The air electrode 13 is comprised of an air electrode reaction layer 13a joined to one side of the electrolyte layer 11 and an air diffusion layer 13b joined to the no-electrolyte layer of the air electrode reaction layer 13a and diffusing air to the air electrode reaction layer 13a.
空気極１３は、電解質層１１の一面に接合された空気極反応層１３ａと、空気極反応層１３ａの非電解質層側に接合され、空気極反応層１３ａに空気を拡散する空気拡散層１３ｂとからなる。 - 特許庁 - A stretched material 16 for diffuser, obtained by sewing half circumferences of two circular pieces of cloth capable of diffusing light, while transmitting light, together and providing a fastener to the other half circumferences, is covered over the frame part 10a of the frame forming body 10 filled with air, to cover the through surrounding part 12.
光が透過しつつ拡散し得る２枚の円形布の半円周を縫合し、残りの半円周にファスナ１６ｂを設けたディフューザ用の張設体１６を、空気充填の枠形成体１０の枠部１０ａに被せて貫通囲繞部１２を覆う。 - 特許庁 - A steel base layer and a nitrogen diffused layer excellent in adhesiveness are formed on the surface of a pump part using a bright nitrogen diffusing method, and a high-hard ceramic layer formed of CrN, TiN and the like excellent in wear resistance is formed on the surface of the pump part using an AIP method.
光輝窒素拡散法を用いてポンプ部品の表面に鋼母層と密着性に優れた窒素拡散層を形成させ、その表面にＡＩＰ法を用いて耐摩耗性に優れた高硬度のＣｒＮ、ＴｉＮ等のセラミック層を形成させる。 - 特許庁 - A diffusion coefficient selection part 650 sets a diffusion coefficient set for diffusing a quantization error at the time of quantizing a pixel in the vicinity of the noticed picture element over the noticed picture element in accordance with a position of the noticed picture element in a current processing area of the error diffusion processing.
拡散係数選択部650は、誤差拡散処理の現在の処理領域における注目画素の位置に応じて、注目画素の近傍の画素を量子化した際の量子化誤差を注目画素に拡散するための拡散係数セットを設定する。 - 特許庁 - Part of transmitting light is totally reflected toward a side of the diffusing plate in an area Wa opposed to the linear light sources, and transmitting light is emitted frontward in an intermediate area Wb among the linear light sources, by the lens part.
レンズ部によって、線状光源に対向する領域Ｗａにおいては透過してきた光の一部を拡散板の側に全反射し、線状光源同士の間の中間領域Ｗｂにおいては透過してきた光を正面方向に出射する。 - 特許庁 - A Fresnel lens 3 is laminated on the back surface of a diffusing film 1 provided on the surface of the screen through an adhesive, and a reflection layer 5 formed on a base film is laminated on the lens 3 through an adhesive whose refractive index is as lower than the lens 3 as possible.
スクリーン表面に設けられる拡散フィルム１の裏面に粘着剤を介してフレネルレンズ３が積層され、このフレネルレンズ３にフレネルレンズ３よりできるだけ屈折率の低い粘着剤を介して、ベースフィルム上に成膜された反射層５が積層されている。 - 特許庁 - The light-diffusing sheet 10 includes a high refractive index region 12 formed of a first substance having a first refractive index N1 and a low refractive index region 14 formed of a second substance having a second refractive index N2 smaller than the first refractive index.
光拡散シート１０は、第１屈折率Ｎ１を有する第１物質によって形成される高屈折率領域１２と、第１屈折率よりも小さい第２屈折率Ｎ２を有する第２物質によって形成される低屈折率領域１４とを含む。 - 特許庁 - To provide a penlight used as a hand lamp or housed in a single operation, usable during day time and night time and diffusing and flickering beautiful light much more particularly at night to fascinate people.
この発明は、ボンボリとしての使用と、格納とがワンタッチで行え、昼間と夜間の両方に使用ができ、特に夜間に美しい光を一層に拡散・揺動して人々を魅惑することのできるができる光拡散揺動ペンライトを提供しようとするものである。 - 特許庁 - The air electrode 13 is composed of an air electrode reaction layer 13a arranged on one surface of the electrolyte layer 11, and an air diffusion layer 13b connected to the non-electrolyte layer side of the air electrode reaction layer 12a, diffusing the air to the air electrode reaction layer 13a.
空気極１３は、電解質層１１の一面に接合された空気極反応層１３ａと、空気極反応層１３ａの非電解質層側に接合され、空気極反応層１３ａに空気を拡散する空気拡散層１３ｂとからなる。 - 特許庁 - The X-ray apparatus prepares X-ray irradiation completes the preparation after the lapse of a predetermined time, thereafter a green light emitting color from a printed circuit board 18 mounting light emitting diodes within a light shielding case 19 diffuses in a light diffusing case 17 to inform the completion of the preparation.
Ｘ線装置はＸ線照射準備を行い一定時間経過後に準備完了すると、遮光ケース１９内の発光ダイオード搭載プリント基板１８からの緑発光色が光拡散ケース１７で拡散し準備完了を知らせる。 - 特許庁 - A fan motor 57 introduces air inside a device main body into an optical unit cover 53 through a filter 58 and ejects the air from a part between slits 49 and 50 and the opening 40a of a guide plate 40 to a light diffusing plate 45 by a route shown by an arrow.
ファンモータ５７はフィルタ５８を介して装置本体の内部の空気を光学ユニットカバー５３内に取り込んで、矢印に示すような経路でスリット４９、５０の間及びガイド板４０の開口４０ａから光拡散板４５に向けて空気を噴出する。 - 特許庁 - Air diffusing pipes 51 and 62 are respectively arranged below the sections 41 and 61, i.e., below the respective filters 47 such that the air bubbles from the pipes 51 and 62 are brought into contact with the respective filters 47 of the sections 41 and 61 from below.
そして、第１及び第２フィルタ部４１，６１の下方、即ち各フィルタ４７の下方にはそれぞれ散気管５１，６２を配置し、当該散気管５１，６２からの気泡を第１及び第２フィルタ部４１，６１の各フィルタ４７に下方から接触させるようにした。 - 特許庁 - To provide an air supply equalizing device which decelerates and diffusing air supplied from an outlet of an air supply box to so low a speed as not degrading indoor air environment to equalize the air supply in an air supply outlet device in ventilating and air-conditioning equipment.
換気・空調設備における給気吹出し口装置において、給気ボックスの吹出し口から吹出し供給される給気を、室内の空気環境を損なわない程度の低速まで減速拡散して均等化する給気均等化装置を提供する。 - 特許庁 - In the method for manufacturing the core enlarged optical fiber wherein a core diameter is enlarged by thermally diffusing refractive index controlling dopant which is included in the core part of an optical fiber 7 to a clad part, a carbon dioxide laser 1 is used as a heat source and the optical fiber is irradiated by laser beams 2.
光ファイバ７のコア部に含まれている屈折率制御用ドーパントをクラツド部に熱拡散させてコア径を拡大するコア拡大光ファイバの製造方法において、熱源として炭酸ガスレーザ１を用い、レーザビーム２を光ファイバに照射する。 - 特許庁 - The light diffusing composition has very low average total light transmittance of ultraviolet rays in the 310-370 nm wavelength region and has high diffusibility of visible rays in 400-780 nm wavelength region, by uniformly dispersing a zinc oxide crystal (zincite) in a binder.
酸化亜鉛結晶（ｚｉｎｃｉｔｅ）を結合材に均質に分散させることにより、３１０〜３７０ｎｍの紫外線の平均全光線透過率が極めて低く、４００ｎｍ〜７８０ｎｍの可視光線の拡散性が高い光拡散性組成物を提供できる。 - 特許庁 - The method of manufacturing the semiconductor device includes a step of forming a first heat treatment protective film (silicon nitride film 6) after the ion implantation for introducing an impurity, a step of forming a second heat treatment protective film (silicon nitride film 7), and a step of conducting heat treatment to form a well in the impurity diffusing region.
不純物を導入するイオン注入後に第１の熱処理用保護膜（窒化シリコン膜６）を形成し、次に第２の熱処理用保護膜（窒化シリコン膜７）を形成してから、不純物拡散領域であるウェルを形成するための熱処理を行う。 - 特許庁 - To provide a method for producing an FRP structure which can secure high productivity by supplying/diffusing a necessary amount of a resin promptly to/on both sided of a core material and especial can mold a design surface into a good finish surface without a sink mark.
コア材の両面側について必要な量の樹脂を迅速に流入、拡散させ、高い生産性を確保できるとともに、とくに意匠面を、樹脂引けのない良好な仕上げ面に成形できるＦＲＰ構造体の製造方法を提供する。 - 特許庁 - A dew condensation indicator 1 is constituted so that a discoloration layer 3 containing a water soluble dye 4 partially exposed to the surface of the layer 3 and ink vehicle diffusing the dye by water condensed on the surface of the layer 3 is provided on a base material 2 and preliminarily irradiated with ultraviolet rays.
結露インジケータ１は、表面に一部の露出する水溶性染料４と、該表面で結露した水により該染料を拡散するインキビヒクルとを含んで、基材２上に設けられている変色層３が、紫外線で予め照射されたものである。 - 特許庁 - To prevent air after passing through an end edge of a venturi from diffusing in a centrifugal direction, disturbing air flow and causing noise by providing discharge port side structure of a venturi wind tunnel with a shape expanding toward the end edge side.
本発明は、ベンチュリ風洞部の吐出口側構成が、端縁側に向かって拡大する形状を備えることにより、ベンチュリの端縁を抜けた後の空気が遠心方向へ拡散して気流が乱れ、騒音の要因となっていることの抑制を目的とする。 - 特許庁 - To provide a light-diffusing polycarbonate laminate in which an acrylic resin layer is laminated by a coextrusion method and which prevents a hurt made during handling from being conspicuous, is excellent in lightfastness and pencil hardness, and controls brightness nonuniformity.
共押出法によりアクリル系樹脂層が積層成形された光拡散性ポリカーボネート樹脂積層体において、ハンドリング時に付いた傷が目立ちにくく、耐光性と鉛筆硬度が優れ、輝度ムラが小さい光拡散性ポリカーボネート樹脂積層体を提供すること。 - 特許庁 - Carbon raw material M is filled in a furnace core tube 21, a wet gas (hydrated gas) is prepared by diffusing an inert gas, which is generated from a hydrated gas generating system 30, in hot water at an arbitrary temperature of 98°C or lower, preheated to 200 to 300°C, and then fed to the inside of a furnace 22.
炭素原料Ｍを炉心管２１に入れ、水和ガス発生システム３０により発生した不活性ガスを９８℃以下の任意の温度に温水中に拡散させた湿性ガス（水和性ガス）を、２００〜３００℃に予備加熱した後、炉内２２内に投入する。 - 特許庁 - To provide an ion generator capable of compactifying a size by shortening a separation distance between positive and negative ion generating parts, and capable of diffusing efficiently an ion when disposed in flowing air, and an air conditioner equipped therewith.
プラス及びマイナスのイオン発生部の離隔距離を小さくすることによる小型化が可能であり、通流する空気中に置かれた場合にイオンを効率よく拡散させることが可能なイオン発生器、及び該イオン発生器を備える空気調和機を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for safely and efficiently cleaning both soil and groundwater polluted with a volatile organic chlorine compound such as tetrachloroethylene or trichloroethylene at the site without diffusing the pollutant gas into the atmosphere.
揮発性汚染物質のテトラクロロエチレン、トリクロロエチレンなどの有機塩素系化合物などで汚染された土壌を、原位置で汚染ガスを大気拡散させることなく、汚染土壌の処理と併せ汚染地下水の浄化処理を安全かつ効率良く浄化する方法である。 - 特許庁 - Then, the UV generated from the UV lamp is reflected by a reflecting mirror which has a high reflectance to the wavelength of the UV lamp to be guided to a radiation control board for suppressing diffusing of the UV in a vertical direction to be emitted horizontally indoor.
そこで紫外線ランプから発生した紫外線をその波長に対して反射率の高い反射鏡で反射させて、垂直方向への紫外線の拡散を抑制する放射制御板へ導き、室内へ水平照射させる装置と方法を提供する。 - 特許庁 - In a wastewater treatment method, wastewater containing ammonia and hydrogen peroxide is successively passed through a process (first process) for diffusing ammonia from the wastewater and a process (second process) for decomposing hydrogen peroxide in wastewater.
本発明は、アンモニアおよび過酸化水素を含有する排水を処理するに際して、該排水からアンモニアを放散させる工程（第一工程）を経た後、次いで液中の過酸化水素を分解する工程（第二工程）と経ることを特徴とする排水の処理方法である。 - 特許庁 - To suitably improve ignition performance in compression-ignition diffusing combustion using a fuel with low-compression ignitability while avoiding the generations of exhaust emission, fuel consumption deterioration and lubricating failure in a multi-fuel internal combustion engine.
この発明は、多種燃料内燃機関に関し、排気エミッションおよび燃費の悪化や潤滑不良が生ずるのを回避しつつ、低圧縮着火性燃料を用いた圧縮自着火拡散燃焼時の着火性を良好に改善させることを目的とする。 - 特許庁 - The controller 200 outputs control signals to an air diffusing blower 136, a backwashing blower 146, a backwashing pump 156, the first switching valve 140a and the second switching valve 166a on the basis of the information of the counter 201 and that of the counter 202.
制御装置２００は、流量積算カウンター２０１および洗車台数積算カウンター２０２の情報に基づいて、散気ブロワ１３６、逆洗ブロワ１４６、逆洗ポンプ１５６、第１切換弁１４０ａ、第２切換弁１６６ａへ制御信号を出力する。 - 特許庁 - Further, the barrier film 74 prevents Ge from diffusing to the surface of the cap silicon film 75, and aggregating of the metal silicide layer 12 formed on the surface of the cap silicon film 75 is prevented, thereby forming a uniform and low-resistance metal silicide layer.
また、バリア膜７４によってＧｅがキャップシリコン膜７５の表面にまで拡散することが防止でき、キャップシリコン膜７５の表面に形成する金属シリサイド層１２の凝集を防止し、均一でかつ低抵抗な金属シリサイド層が形成可能となる。 - 特許庁
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