FREQUENCY ANALYZER BY APPLYING FFTALGORITHM AND ABNORMALITY DETERMINING DEVICE AND ABNORMALITY DETERMINING SYSTEM FFTアルゴリズムを応用した周波数解析装置及び異常判定装置並びに異常判定システム - 特許庁
A signal processing section finds a frequency spectrum by performing the arithmetic processing of fast Fourier transformation (FFT) on sensor signals (time signals) from the blurring sensors 140A, 140B, etc., and determines the quality of the coating process by multiplying an appropriate criterion or an algorithm by the found frequency spectrum. 信号処理部では、各ぶれセンサ140A,140B,‥‥からのセンサ信号(時間信号)について高速フーリエ変換(FFT)の演算処理を行って周波数スペクトルを求め、求めた周波数スペクトルを適当な判定基準またはアルゴリズムにかけて塗布処理の良否を判定する。 - 特許庁