Each of thrust forces (pushing force by a motor) Fxf, Fxb, Fyr and Fyl acts on a stage S by drivings of X-direction drive motors Mxf (front side), Mxb (rear side), or a Y-direction drive motors Myr (right side), Myl (left side). ステージSには、X方向駆動モータMxf(前側)、Mxb(後側)、Y方向駆動モータMyr(右側)、Myl(左側)の駆動に伴い、それぞれ推力(モータの押す力)Fxf、Fxb、Fyr、Fylが作用する。 - 特許庁
A ferroelectric transistor FYR has a ferroelectric film FF at a gate insulation film, one side of source/drain is connected to a read word line RWL, the other side of source/drain is connected to a read bit line RBL, and a well NW is connected to a plate line PL. 強誘電体トランジスタFTRは、ゲート絶縁膜に強誘電体膜FFを有し、読み出しワード線RWLにソース/ドレインの一方が接続され、読み出しビット線RBLにソース/ドレインの他方が接続され、プレート線PLにウエルNWが接続されている。 - 特許庁