FIZEAUINTERFEROMETER AND FIZEAU LENS フィゾー干渉計及びフィゾーレンズ - 特許庁
FIZEAU LENS AND FIZEAUINTERFEROMETER フィゾーレンズおよびフィゾー干渉計 - 特許庁
SPATIAL DELAY TYPE FIZEAUINTERFEROMETER 空間遅延型フィゾー干渉計 - 特許庁
To provide a Fizeau type phase shift interferometer. フィゾー型の位相シフト干渉計を提供する。 - 特許庁
The Fizeauinterferometer 1 is equipped with: an interferometer body 2; and a measuring apparatus 3. フィゾー型干渉計1は、干渉計本体2と、測定装置3とを備える。 - 特許庁
To optimize objective optics of a Fizeauinterferometer to test a surface. 表面を検査するフィゾー干渉計の対物光学系を最適化する。 - 特許庁
To provide a Fizeau lens which can accurately measure a surface accuracy of the Fizeau lens even if a radius of curvature of a spherical surface to be detected is small with respect to an outer diameter and to provide a Fizeauinterferometer. 被検球面の曲率半径が外径に対して小さいレンズであっても、その面精度測定を精度良く行うことが可能なフィゾーレンズ及びフィゾー干渉計を提供する。 - 特許庁
To measure the aberration of a refractive index distribution type rod lens by a Fizeauinterferometer system. フィゾー干渉計方式によって、屈折率分布型ロッドレンズの収差測定を可能とする。 - 特許庁
The measurement unit has a Fizeauinterferometer IF including an optical system 17 having a Fizeau plane for forming reference light and a reflecting mirror 22 for forming light to be inspected. 測定ユニットは、参照光を形成するフィゾー面を含む光学系17と、被検光を形成する反射鏡22とを具備するフィゾー干渉計IFを含む。 - 特許庁
The Fizeau type interferometer 12 can measure the wavefront from the entire surface of the diffracted light at the same time and in a short time. フィゾー型干渉計12により、回折光全面からの波面を一括に、且つ短時間に計測できる。 - 特許庁
To provide a device of measuring a transmission wavefront by a Fizeauinterferometer capable of maintaining a liquid surface fixedly to an immersion lens. 液浸レンズに対して液面を一定に保つことができるフィゾー干渉計による透過波面測定装置。 - 特許庁
To provide a Fizeauinterferometer properly measuring the form of a spherical surface to be measured even in the case where a phase shift method is used. 位相シフト法を用いる場合であっても被測定球面の形状を適切に測定することができるフィゾー型干渉計の提供。 - 特許庁
To provide an ultraminiature vertical cross-sectional image measurement device with an ultraminiature interference optical system including a space delay type Fizeauinterferometer, using a collimator lens. コリメータレンズを用いた空間遅延型フィゾー干渉計により、超小型干渉光学系が構成可能な超小型の鉛直断面画像測定装置を提供する。 - 特許庁
The whole shape is measured by stitching a plurality of microscopic measured data by a Michelson type microinterferometer by using the whole shape data by a Fizeau type interferometer. フィゾー型干渉計による全体形状データを用いて、マイケルソン型顕微干渉計による複数の顕微測定データをスティッチングして全体形状を測定する。 - 特許庁
Lights are applied to the entire surface of mono-axis diffraction grating 10 or bi-axis diffraction grating, and the respective wavefront information of plus first-order diffracted light and minus first-order diffracted light is evaluated by a shape measuring interferometer such as Fizeau type interferometer 11 or the like. 1軸回折格子10または2軸回折格子の全面に光を照射し、+1次回折光と−1次回折光のそれぞれの波面情報をフィゾー型干渉計11などの形状計測用干渉計で評価する。 - 特許庁
To stably and precisely measure the absolute shape of a spherical mirror and lens, and to measure the absolute shape of a spherical mirror and lens having a long radius of curvature, in a Fizeau type interferometer. フィゾー型干渉計における、安定的で高精度な球面レンズ、ミラーの絶対形状計測、さらに曲率半径の大きな球面レンズ・ミラーの絶対形状計測を目的としている。 - 特許庁
The interference measuring method uses a transmissive zone plate forming both a first wave surface being a null wave surface for a test plane and a second wave surface being a null wave surface for a Fizeau plane by using a pair of equivalent opposite sign graded transmission diffractive lights, in addition to use of an interferometer and a Fizeau lens for the test plane measurement. 干渉計と、被検面測定用のフィゾーレンズとを使用した干渉測定に、被検面に対するヌル波面である第1波面、及びフィゾー面に対するヌル波面である第2波面を、等量反対符号の次数の一対の透過回折光により形成する透過型ゾーンプレートを使用する。 - 特許庁
The diffraction grating is relatively inclined to the shape measuring interferometer so that the plus first-order diffracted light or minus first-order diffracted light from the diffraction grating and reference light from a reference optical flat 12 provided inside the Fizeau type interferometer 12 may be overlapped. 回折格子からの+1次回折光または−1次回折光と、フィゾー型干渉計12の内部に搭載されている参照用オプティカルフラット12からの参照光が重なり合うように、形状計測用干渉計に対して回折格子を相対的に傾ける。 - 特許庁
A Fizeauinterferometer 10 incorporates an off-axis paraboloidal reflector 30 that forms virtual images of a reference surface and a test surface 18 and a camera lens system 46 that converts the virtual images into real images on a camera detector surface 48. 基準表面と検査表面18の虚像を形成するオフアクシス放物面反射器30及び虚像をカメラ検出器表面48上の実像に変換するカメラレンズ系46がフィゾー干渉計10に組み込まれる。 - 特許庁
This Fizeau type interferometer for measuring the shape of an optical surface of an optical element comprises a reference surface of the aspherical shape and a holding member for integrally holding the reference surface and the optical surface in a state where the reference surface is made adjacent to the optical surface. 光学素子の光学面の形状を測定するためのフィゾー型干渉計は、非球面形状の参照面と;該参照面と前記光学面とを近接させた状態で、前記参照面と前記光学面とを一体に保持する保持部材とを有する。 - 特許庁
To provide a flat surface measuring method of a mirror using a Fizeauinterferometer capable of preventing back surface reflected light of the mirror and performing simply interference fringe measurement only on the inspection surface, and a reflection preventing tool for facilitating a flat surface measuring work when executing the method. ミラーの裏面反射光を防止し、被検面のみの干渉縞測定を簡便に行うことができるフィゾー干渉計を用いたミラーの平面測定方法及びその方法実施の際、平面測定作業を容易にする反射防止ジグを提供する。 - 特許庁
When performing flat surface measurement of the mirror 11 by using the Fizeauinterferometer, a pressure sensitive adhesive double coated tape of acrylic foam or urethane foam is stuck as a pressure-sensitive reflection prevention member 13 on the back surface of the mirror 11, and placed on a mirror support 12, and then the flat surface measurement is performed. フィゾー干渉計を用いてミラー11の平面測定を行う場合、ミラー11の裏面にアクリルフォーム又はウレタンフォームの両面粘着テープを粘着性反射防止部材13として貼付し、ミラー支え12上に載置して平面測定を行う。 - 特許庁