To provide a method of preparing a sample for analyzing ruthenium powder of high purity by a glow discharge mass spectrometric analysis method (GDMS). 高純度のルテニウム粉末をグロー放電質量分析法(GDMS)で分析する試料を作製する方法を提供すること。 - 特許庁
Preferably, this grinding is performed by SIMS or GDMS. 上記研削は、SIMS又はGDMSにより行なうことが好ましい。 - 特許庁