High temperature exhaust gas EX from a gas turbine 1 for the generation of electricity is mixed with outer air OA and introduced into the regenerative part 12b of the dehumidifying rotor 12 of a desiccant air conditioner 1. 発電用ガスタービン1からの高温の排気EXを外気OAと混合させて,デシカント空調機1の減湿ロータ12の再生部12bに導入する。 - 特許庁
An expansive force generation unit EX is formed in the outer periphery of a silicon carbide substrate WF that includes a peripheral region PP of a central part CP corresponding to the formation region of a semiconductor device and a substrate side face SP in main both sides of a substrate, thereby producing a compression stress CS toward the inside of the substrate. 基板の表裏主面のうち半導体装置の形成領域に対応する中央部CPの周辺領域部PPと基板側面部SPとを含んで構成される炭化珪素基板WFの外周部に、膨張力発生部EXを形成することで、基板内部に向かうように圧縮応力CSが生じる。 - 特許庁