「HeNe」を含む例文一覧(3)
- 3-MODE OR SINGLE-MODE HIGH POWER HeNe LASER DEVICE WITH SIMPLE STRUCTURE
簡単な構成から成る３モードあるいは単一モード高出力ＨｅＮｅレーザ装置 - 特許庁 - Since the inside of the aligner main body 101 is filled with helium gas, the length wise measurement error in sensing the position of a wafer stage 118 by a HeNe laser 140 can be reduced.
露光機本体１０１内はヘリウムガスで満たされているため、ウエハーステージ１１８の位置を検出するＨｅＮｅレーザ１４０による測長誤差を小さくできる。 - 特許庁 - This substrate-cleaning particle detecting device is provided with a cleaning water spraying nozzle 12 for cleaning a rotating wafer 10 by spraying a cleaning solution W and a HeNe laser oscillating tube 14 and optical detector 16, which constitute a detecting means for detecting particles of this semiconductor wafer 10, while rotating the semiconductor wafer 10.
洗浄液Ｗを噴射させて回転する半導体ウェーハ１０を洗浄する洗浄水噴射ノズル１２と、半導体ウェーハ１０を回転させてこの半導体ウェーハ１０上のパーティクルを検出する検出手段を構成するＨｅＮｅレーザー発振管１４と光検出器１６とを備えたことを特徴とする基板洗浄パーティクル検出装置。 - 特許庁
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