An interzone transfer vehicle 17 transfers the panel so that the direction of the flow follows thin-film forming zone 11 to the exposure zone 12 to the etching zone 13. 基板の流れが薄膜形成ゾーン11→露光ゾーン12→エッチングゾーン13となるようにゾーン間搬送車17が基板を搬送する。 - 特許庁
PROCESS CONTROL SYSTEM, LOCAL PROCESS CONTROL NETWORK IN PROCESS CONTROL SYSTEM, INTERZONE SERVER IN LOCAL PROCESS CONTROL NETWORK, AND DATA TRANSMISSION METHOD IN PROCESS CONTROL SYSTEM 工程管理システム、工程管理システムにおけるローカル工程管理ネットワーク、ローカル工程管理ネットワークにおける地域間サーバおよび工程管理システムにおけるデータ送信方法 - 特許庁