「Labile」を含む例文一覧(101)

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  • The chemically amplified resist composition comprises: a resin which comprises a structural unit having an acid-labile group in a side chain and a structural unit having a lactone structure represented by a specific structure in a side chain, and which itself is insoluble or poorly soluble in an alkali aqueous solution but becomes soluble in an alkali aqueous solution by the action of an acid; and at least two acid generators represented by a specific structure.
    それ自身はアルカリ水溶液に不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる樹脂であって、酸に不安定な基を側鎖に有する構造単位を含有し、さらに特定構造で表されるラクトン構造を側鎖に有する構造単位を含有する樹脂を含有し、さらに、特定構造で表される酸発生剤を少なくとも２種以上含有することを特徴とする化学増幅型レジスト組成物。 - 特許庁
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