PHOTOSENSITIVE LITHOCHOLATE ESTER DERIVATIVE AND CHEMICALLY AMPLIFYING TYPE PHOTORESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME 感光性リトコレイトエステル誘導体及びこれを含む化学増幅型フォトレジスト組成物 - 特許庁
This photosensitive compound is a photosensitive lithocholate ester derivative provided with carboxyl group blocked by a blocking group which can be de-blocked by an acid, of which hydroxyl group at the 3-position is substituted by a hydrophilic aliphatic compound or a hydrophilic alicyclic compound. 本発明に係る感光性化合物は、酸により脱保護される保護グループにより保護されたカルボキシル基を具備し、3番位置のヒドロキシ基が親水性脂肪族化合物または親水性脂環式化合物に置換されている感光性リトコレイトエステル誘導体である。 - 特許庁