「MBPC」を含む例文一覧(1)
- To provide a control system comprising thermal processing equipment of semiconductor substrates, such as a hybrid cascade MBPC (Model-Based Predictive Control) for a vertical thermal reactor and conventional control system.
半導体基板の熱的プロセス装置、例えば垂直サーマルリアクタ用のハイブリッドカスケードＭＢＰＣ(Model-Based Predictive Control)および従来の制御系を含む制御システムを提供すること。 - 特許庁
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