To provide a method for depositing a layer capable of executing coating of an area larger than that in the conventional MWP-CVD method and free from the need of the restriction of the growing rate similarly to the case in an HF-CVD method and to provide a device therefor. 従来のMWP-CVD法よりも大きな面積の被覆を行うことができ、しかもHF-CVD法におけると同様に成長速度を制限する必要のない、層を堆積させる方法及び装置を提供することである。 - 特許庁
An electronic control device 20 calculates a required rotation speed Mac, Mps, Mwp, i.e., a required value of the rotation speed of the electromotive motor 14 corresponding to an action requirement of the respective auxiliary machinery 11-13 and controls the rotation speed of the electromotive motor 14 making the maximum value thereof as a target rotation speed Mtr. 電子制御装置20は、各補機11〜13の動作要求に応じた電動モータ14の回転速度の必要値である必要回転速度Mac,Mps,Mwpを算出するとともに、それらのうちの最大値を目標回転速度Mtrとして電動モータ14の回転速度を制御する。 - 特許庁