「Micro machine technology」を含む例文一覧(6)
- To provide a method of manufacturing a micro machine having a driving part operated in a larger operational range by a surface micro machining technology.
より大きな動作範囲で動作する駆動部を有するマイクロマシンをサーフェス・マイクロマシニング技術によって製造する方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a micro machine (MEMS structural body) formed by a surface micro machine technology in which a structure for preventing a wire from becoming thinner and being broken is provided.
表面マイクロマシン技術により形成されるマイクロマシン（ＭＥＭＳ構造体）において、配線細りや配線の断切れを防止する構造を提供することを目的とする。 - 特許庁 - A downsized and thin type pump is preferable from demand of downsizing, and the small flat pump to which micro-machine technology is applied is preferably used.
小型化の要求からポンプも小型，薄型が好ましくマイクロマシン技術を応用した小型平面ポンプが好ましく用いられる。 - 特許庁 - The movable element is provided with a fine structure body 20 formed on a substrate 10 by micro-machine technology; and a drive circuit 30 for performing drive control of the fine structure body 20.
基板１０上にマイクロマシン技術により形成された微小構造体２０と、この微小構造体２０の駆動制御を行う駆動回路３０とを備える。 - 特許庁 - To provide a sliding surface working method of a fine sliding part capable of mass-producing a fine part having a sliding surface of a desired friction coefficient by micro-scraping technology and remarkably improving an operational characteristic of a small industrial product such as a micro- machine, etc.
マイクロキサゲ技術によって、所望の摩擦係数の摺動面をもった微細部品を大量生産でき、また、マイクロマシン等の小型工業製品の稼動特性を格段に向上できる画期的な微細摺動部品の摺動面加工方法を提供すること。 - 特許庁 - To seal a part of an oscillator of a micro machine by carrying out sacrifice layer etching, and to remove and seal a sacrifice layer without requiring a special packaging technology even in that case.
犠牲層エッチングを行ってマイクロマシンの振動子の部分を封止するとともに、その場合であっても特殊なパッケージング技術を必要とすることなく犠牲層の除去および封止を行うこと可能とする。 - 特許庁
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