Accordingly, the development inspection and etching-completion inspection of all wafers in a lot are facilitated, the causes of the defectives in micro-sizes are detected at the early stage and the manufacture of the defectives is prevented, and a history is also inspected. これにより、ロット内の全ウエハの現像検査およびエッチング完成検査が容易となり、マクロ不良の原因を早期に検出して不良の作り込みを防止することができ、履歴も調べることが可能となる。 - 特許庁
To provide a system display device with which, even when the number of network components connected to a network is increased, both macro-information and micro-information of various kinds of systems can be simultaneously viewed by reflecting a degree of interest to a network area based on an operation history. ネットワークに接続されるネットワーク構成要素の数が多くなっても、操作履歴に基づくネットワーク領域に対する関心度を反映させて、各種システムのマクロな情報とミクロな情報の両方を同時に見ることができるシステム表示装置を実現すること。 - 特許庁