A method for counting the particles includes the steps of detecting the charged particles after classified and selected by a probe mesh and a microammeter and calculating a spatial number density. また、分級選別後の荷電パーティクルをプローブメッシュおよび微小電流計により検出して、荷電パーティクルの空間数密度を算出する。 - 特許庁
When electrically conducting a stage 12 and etching a fixed sample 2 by the focused ion beam, etching current is measured by a microammeter 13 arranged between ground and the stage 12. ステージ12に電気的に導通させて固定した試料2を集束イオンビームによりエッチングする際に、グランドとステージ12の間に設置した微小電流計13によりエッチング電流を測定する。 - 特許庁