「Microprobes」を含む例文一覧(2)
- The upper side microprobe unit 42 is constituted of a microprobe guide 70 having a plurality of grooves 72, and microprobes 50 arranged respectively on each groove 72.
上側マイクロプローブユニット４２は、複数の溝７２を有するマイクロプローブガイド７０と、各溝７２にそれぞれ配置されるマイクロプローブ５０とから構成される。 - 特許庁 - The microprobe guides 70, 71 having the plurality of grooves 72 are acquired by forming each elongate deep groove having the groove depth and the groove width corresponding to the height and the width of a shaft part of the microprobes 50, 51 by using an anisotropic dry etching method to a silicon plate.
複数の溝７２を有するマイクロプローブガイド７０,７１は、シリコンプレートに異方性ドライエッチング法を用い、マイクロプローブ５０，５１の軸部の高さと幅に対応した溝深さと溝幅で細長く深い溝を形成して得られる。 - 特許庁
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