An antenna 102 on an insulating film 101 of a substrate 100 is connected to a transmission path 104 in the insulating film 101, many MIMs (layered thin-film capacitors) 110 are formed near the antenna 102. 基板100の絶縁膜101上のアンテナ102は、絶縁膜101中の伝送路104に接続されており、その近傍にはMIM(積層型薄膜キャパシタ)110が多数形成されている。 - 特許庁