PHOTOMASK, PHOTOMASK BLANK AND PHOTOMASK MANUFACTURING METHOD フォトマスク、フォトマスクブランク及びフォトマスクの製造方法 - 特許庁
PHOTOMASK MANUFACTURING METHOD フォトマスク製作方法 - 特許庁
PHOTOMASK PROTECTIVE FILM MATERIAL フォトマスク用保護膜材料 - 特許庁
DISPLAY DEVICE FOR PHOTOMASK DATA フォトマスクデータの表示装置 - 特許庁
PHOTOMASK AND SEMICONDUCTOR DEVICE フォトマスクおよび半導体装置 - 特許庁
PHOTO-MASK BLANK, PHOTO-MASK, REFLECTIVE MASK BLANK AND REFLECTIVE MASK, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF フォトマスクブランク、フォトマスク、反射型マスクブランクおよび反射型マスク並びにこれらの製造方法 - 特許庁
CARRYING TOOL OF PHOTOMASK SUBSTRATE AND THE LIKE フォトマスク基板等の搬送具 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING PHOTOMASK, PHOTOMASK, REFLECTING PLATE, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE フォトマスクの製造方法、フォトマスク、反射板、および液晶表示素子 - 特許庁
WHITE DEFECT CORRECTION METHOD FOR PHOTOMASK ホトマスクの白欠陥修正方法 - 特許庁
DEVICE AND METHOD FOR CORRECTING PHOTOMASK フォトマスク修正装置及び方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR SUPPORTING PHOTO-MASK フォトマスク支持方法及び支持装置 - 特許庁
ATTACHMENT STRUCTURE OF PELLICLE TO PHOTOMASK ペリクルのフォトマスクへの取り付け構造 - 特許庁
EXPOSURE METHOD, PHOTOMASK AND RETICLE STAGE 露光方法、フォトマスクおよびレチクルステージ - 特許庁
REFLECTIVE PHOTO-MASK BLANK, REFLECTIVE PHOTO-MASK AND EXPOSURE METHOD FOR EXTREME ULTRAVIOLET RAY 反射型フォトマスクブランク、反射型フォトマスク及び極端紫外線の露光方法 - 特許庁
EXPOSURE VALUE EVALUATION METHOD AND PHOTOMASK 露光量評価方法およびフォトマスク - 特許庁
ALIGNER, SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PHOTO-MASK 露光装置、半導体装置およびフォトマスク - 特許庁
CARRYING ARM AND PHOTOMASK MANUFACTURING APPARATUS 搬送アーム及びフォトマスク製造用装置 - 特許庁
To provide a method for supporting a photo-mask which prevents the photo-mask from being twisted or distorted. フォトマスクに捩れや歪みが生じにくいフォトマスク支持方法を提供する。 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC HEAD, AND PHOTO-MASK 磁気ヘッドの製造方法及びフォトマスク - 特許庁
MASK BLANK SUBSTRATE, MASK BLANK, PHOTOMASK, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE マスクブランク用基板、マスクブランク、フォトマスク及び半導体デバイスの製造方法 - 特許庁
MANUFACTURING METHOD FOR STORAGE CASE FOR SYNTHETIC QUARTZ GLASS SUBSTRATE FOR PHOTOMASK OR PHOTOMASK BLANK フォトマスク用合成石英ガラス基板またはフォトマスクブランクの保管ケースの製造方法 - 特許庁
To align a photomask at high accuracy. フォトマスクを高精度に位置合せすること。 - 特許庁
SALES METHOD AND SALES MANAGEMENT SERVER FOR MASK DESIGN DATA OF PHOTOMASK フォトマスクのマスク設計データの販売方法および販売管理サーバ - 特許庁
GRAY TONE BLANK MASK, GRAY TONE PHOTO-MASK, AND THEIR MANUFACTURING METHOD グレートーンブランクマスク及びグレートーンフォトマスク並びにそれらの製造方法 - 特許庁
PROCESSING METHOD OF PHOTO-MASK DATA USING HIERARCHICAL STRUCTURE, PHOTO-MASK DATA PROCESSING SYSTEM, AND MANUFACTURING METHOD 階層構造を用いたフォトマスクデータの処理方法、フォトマスクデータ処理システム、および、製造方法 - 特許庁
PHOTOMASK BLANK, PHOTOMASK AND SUBSTRATE REPRODUCTION METHOD フォトマスクブランク、フォトマスクおよび基板再生方法 - 特許庁
In a second method, a photo-mask is deposited and patterned to form an opening in the photo-mask. 第2の方法では、フォトマスクを堆積させ、フォトマスクに開口部を生成するためにパターン化する。 - 特許庁
COLOR FILTER AND PHOTOMASK USED FOR MANUFACTURING THE SAME カラーフィルタおよびその製造に用いるフォトマスク - 特許庁
PHOTO-MASK IDENTIFYING DEVICE AND ITS METHOD フォトマスク識別装置およびフォトマスク識別方法 - 特許庁
PHOTOMASK AND PATTERN FORMATION METHOD USING THE SAME フォトマスク及びそれを用いたパターン形成方法 - 特許庁
REFLECTION TYPE PHOTOMASK BLANK AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME 反射型フォトマスクブランクおよびその製造方法 - 特許庁
PHOTOMASK FOR MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE 薄膜トランジスタ液晶表示装置製造用フォトマスク - 特許庁
MASK FOR CHANGING LIGHTNESS PROFILE OF PHOTO COPYING 写真複写の明度プロファイルを変更するためのマスク - 特許庁
PATTERN LAYOUT METHOD FOR PHOTO-MASK FOR PATTERN TRANSFER AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTO-MASK FOR PATTERN TRANSFER AND SEMICONDUCTOR DEVICE パターン転写用フォトマスクのパターンレイアウト方法、パターン転写用フォトマスクおよび半導体装置の製造方法 - 特許庁
CAD DATA CONVERTING METHOD FOR PREPARING PHOTOMASK フォトマスクを作成する際のCADデータ変換方法 - 特許庁
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, PHOTOMASK, AND ALIGNMENT INSPECTION MARK 半導体装置の製造方法、フォトマスク、合わせ検査マーク - 特許庁
TRANSFER METHOD OF RESIST PATTERN AND MANUFACTURING METHOD OF PHOTOMASK レジストパターンの転写方法及びフォトマスクの製造方法 - 特許庁
PHOTOMASK, EXPOSURE METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE フォトマスク、露光方法、及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
To provide a photomask which allows an isolated pattern hole to sufficiently receive light so as to make up for the insufficiency of the light, and to provide a method for fabricating the photomask. 孤立したパターンホールの受光不足を補うことができるフォトマスク及びその製造方法を提供する。 - 特許庁
To provide a sample holder capable of discharging a photomask during the conveyance, measurement and inspection of the photomask without pressing a press member against a surface and back sides of the photomask. 本発明は、ホトマスクの表裏面に押圧部材を押し当てることなく、ホトマスクの搬送及び測定,検査時に、当該ホトマスクの除電を行う試料保持装置の提案を目的とする。 - 特許庁
MANAGEMENT METHOD OF MASK DRAWING DATA MAKING ITS DATA PROCESSING SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD OF PHOTO-MASK マスク描画データ作成管理方法、データ処理システムおよびフォトマスクの製造方法 - 特許庁
METHOD OF CORRECTING MASK PATTERN, PHOTOMASK, METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE マスクパターンの補正方法、フォトマスク、半導体装置の製造方法、および半導体装置 - 特許庁
The resist mask having the three-step thickness is formed by, for example, a four-gradation photomask. 3段階の厚さを有するレジストマスクは、例えば、4階調のフォトマスクにより形成する。 - 特許庁
To provide a mask blank which can definitely prevent an alkali metal from spreading to a surface of a glass substrate, a method for producing a photomask, and a photomask. アルカリ金属のガラス基板の表面への拡散を確実に防止することができるマスクブランクス、フォトマスクの製造方法及びフォトマスクを提供すること。 - 特許庁
The exposure light is radiated onto the photomask from the mask pattern side, and the exposure light reflected by the photomask is radiated onto the substrate. 前記フォトマスクに対し前記マスクパターン側から前記露光光を照射するとともに、前記フォトマスクで反射された露光光を前記基板に照射する。 - 特許庁
GELATIN HARDENING SOLUTION, HARD COATING LIQUID, PHOTOMASK AND ITS MANUFACTURING METHOD ゼラチン硬化液、ハードコート液、フォトマスクおよびその製造方法 - 特許庁
PHOTOMASK AND METHOD FOR MANUFACTURING PATTERN FORMED BODY USING THE SAME フォトマスク及びこれを用いたパターン形成体の製造方法 - 特許庁
To provide a pellicle separable from a photomask by easily removing an adhesive layer from between the photomask and a pellicle frame. フォトマスクとペリクルフレームの間から、粘着剤層を容易に除去し、フォトマスクから剥離することができるペリクルを提供する。 - 特許庁
To provide an attachment structure of a pellicle to a photomask allowing the pellicle to be easily peeled off from the photomask while inhibiting generation of gas from the pellicle. ペリクルからの発ガスを抑制し、フォトマスクからペリクルを簡単に剥がせるペリクルのフォトマスクへの取り付け構造を提供すること。 - 特許庁